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广东智能超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍 无锡超通智能供应

信息介绍 / Information introduction

激光划片是利用高能激光束照射工件表面,使被照射区域局部熔化、气化,从而达到去除材料,实现划片的过程。激光划片是非接触式加工,无机械应力损伤,加工方式灵活,不存在刀具损耗和水污染,广东智能超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍,设备使用维护成本低,广东智能超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍,广东智能超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍。为避免激光划透晶圆时损伤支撑膜,采用耐高温烧蚀的UV膜。目前,激光划片设备采用工业激光器,波长主要有1064nm、532nm、355nm三种,脉宽为纳秒、皮秒和飞秒级。理论上,激光波长越短、脉宽越短,加工热效应越小,有利于微细精密加工,但成本相对较高。355nm的紫外纳秒激光器因其技术成熟、成本低、加工热效应小,应用非常***。近几年1064nm的皮秒激光器技术发展迅速,应用到很多新领域,获得了很好的效果。无锡超通智能告诉您超快激光玻璃晶圆切割设备的选择方法。广东智能超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍

相比于传统的切割方式,激光切割属于非接触式加工,可以避免对晶体硅表面造成损伤,并且具有加工精度高、加工效率高等特点,可以大幅提升芯片生产制造的质量、效率、效益。据了解,超通智能超快激光玻璃晶圆切割设备,配备***皮秒激光器,通过超高峰值功率的皮秒激光在玻璃晶圆内部产生非线性自聚焦效应,达到激光成丝切割的效果。该设备还可应用于各类透明脆性材料的快速划线、切割。公司也通过了ISO9001质量管理体系认证,质量优,欢迎询价!山西自主研发超快激光玻璃晶圆切割设备服务电话欢迎致电无锡超通智能咨询超快激光玻璃晶圆切割设备。

试验表明,在其他参数不变的情况,频率小于10kHz时,划片声音尖锐刺耳,划片深度较浅,划片宽度较宽频率增大,划片深度增加,划片宽度减少。当频率达到50kHz时,划片深度比较大当频率继续增大,划片深度开始减小。这是由于,在较小的频率下,虽然单个脉冲的峰值功率高,但是总体平均功率处于较低水平,虽然切割范围大,但却无法达到理想深度频率增大以后,单个脉冲峰值功率有所下降,但是总体平均功率持续升高,到达临界频率时,可以得到较理想的划片深度和较窄的划片宽度再增大频率,单个脉冲的峰值功率偏低,不足以对硅片进行“切割”,即使平均功率很高,划片深度也趋于变小。

激光功率是影响划片深度和划片宽度的主要因素,在其他参数固定不变时,划片宽度和划片深度随着激光功率的增加而增大,这是因为,紫外激光虽然属于“冷切割”,但还是存在一定的热效应,热量会积累在切割处。当激光功率一定时,晶圆受到照射的时间越长,获得的能量就越多,烧蚀现象就越严重。频率会影响激光脉冲的峰值功率和平均功率,从而对划片深度、划片宽度和划片质量均产生影响。增大频率,脉冲峰值功率会下降,但整体平均功率会上升,这相当于在划片过程中提供了更高的能量,又避免了激光功率持续输出产生的热效应累积,给热量的耗散预留了空间。超快激光玻璃晶圆切割设备哪个性价比高?无锡超通智能告诉您。

随着芯片特征尺寸的不断缩小和芯片集成度的不断提高,为提高芯片速度和降低互联电阻电容(RC)延迟,低电介常数(低k)膜及铜质材料逐步应用在高速电子元器件上。采用砂轮刀具切割低k 膜一个突出的问题是膜层脱落,通过使用无机械负荷的激光开槽,可抑制脱层,实现***加工并提高生产效率,激光开槽完成后,砂轮刀具沿开槽完成硅材料的全切割,此外,激光开槽也可用于去除硅晶圆表面的金属层。当切割道表面覆盖金、银等金属层时,直接采用砂轮切割易造成卷边缺陷,可行的方法是通过激光开槽去除切割道的金属覆盖层,再采用砂轮切割剩余的硅材料,边缘整齐,芯片质量***提升。超快激光玻璃晶圆切割设备的厂家哪个好?无锡超通智能告诉您。山西自主研发超快激光玻璃晶圆切割设备服务电话

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硅晶圆是一种极薄的片状硅,它是由高纯度、几乎无缺陷的单晶硅棒经过切片制成。硅晶圆是制造集成电路的载板,在上面布满晶粒,将晶粒切开后得到芯片,将芯片经过封装测试,制成集成电路。其中,将晶粒切开得到单一芯片的过程,称为晶圆切割。晶圆切割是半导体芯片制造工艺流程中不可或缺的关键工序之一,在晶圆制造中属于后道工序。为了实现硅晶圆的比较大利用率,其表面布满了高密度集成电路,对硅晶圆进行切割时,尤其需要考虑切口的宽度和质量,以充分保护硅板上的电路,同时兼顾加工效率。传统切割方式主要是采用金刚石锯片划片切割,存在效率低,崩边大,边缘破碎物多、不平整等问题,而且机械应力的存在容易对晶体的内部和外部产生损伤,良品率低,影响加工效率。同时,还需要根据晶圆的厚度不同选择不同的刀具,增加成本支出,因此传统的切割方式已经不能满足当前的加工需求。广东智能超快激光玻璃晶圆切割设备产品介绍

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