真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术，在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术用于生产激光唱片(光盘)上的铝镀膜和由掩膜在印刷电路板上镀金属膜。在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜，内蒙古金属真空镀膜加工。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀，内蒙古金属真空镀膜加工。蒸发镀膜通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面，称为蒸发镀膜。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，内蒙古金属真空镀膜加工，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法。内蒙古金属真空镀膜加工

真空镀膜技术及其特点：真空镀膜法是一种新的镀膜工艺，由于镀膜制备工艺是在真空条件下进行的，故称真空镀膜法，亦称干式镀膜法，它与湿式镀膜法比较有如下特点：①真空下制备薄膜，环境清洁，膜不易受污染，可获得致密性好，纯度高，膜厚均匀的涂层。②膜材和基体材料有广阔的选择性，薄膜厚度可进行控制，可以制备各种不同的功能性薄膜。③膜和基体附着强度好，膜层牢固。④不产生废液，可避免对环境的污染。目前真空镀膜技术中所采用的镀膜方法主要有：真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、束流沉积镀以及分子束外延和化学汽相沉积镀等多种。内蒙古金属真空镀膜加工真空电镀当高温蒸发源通电加热后，真空电镀促使待镀材料的蒸发料熔化蒸发。

真空镀膜技术的发展：真空镀膜技术起步时间不长，国际上在上世纪六十年代才出现将CVD（化学气相沉积）技术应用于硬质合金刀具上。由于该技术需在高温下进行（工艺温度高于1000ºC），涂层种类单一，局限性很大，起初并未得到推广。到了上世纪七十年代末，开始出现PVD（物理的气相沉积）技术，之后在短短的二、三十年间PVD涂层技术得到迅猛发展，究其原因：（1）其在真空密封的腔体内成膜，几乎无任何环境污染问题，有利于环保；（2）其能得到光亮、华贵的表面，在颜色上，成熟的有七彩色、银色、透明色、金黄色、黑色、以及由金黄色到黑色之间的任何一种颜色，能够满足装饰性的各种需要；（3）可以轻松得到其他方法难以获得的高硬度、高耐磨性的陶瓷涂层、复合涂层，应用在工装、模具上面，可以使寿命成倍提高，较好地实现了低成本、收益高的效果；（4）此外，PVD涂层技术具有低温、高能两个特点，几乎可以在任何基材上成膜，因此，应用范围十分广阔，其发展神速也就不足为奇。

真空镀膜的方法材料：(1)真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。(2)阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体(如氩)通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3Pa，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。(3)化学气相沉积：通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，获得沉积薄膜的过程。(4)离子镀：实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合，兼有两者的工艺特点。真空镀膜具有耐高温特性，可密封漆面，隔绝空气紫外线等的氧化变色问题。

PVD即物理的气相沉积，分为：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。我们通常所说的PVD镀膜，指的就是真空离子镀膜和真空溅射镀；通常说的NCVM镀膜，就是指真空蒸发镀膜。真空蒸镀基本原理：在真空条件下，使金属、金属合金等蒸发，然后沉积在基体表面上，蒸发的方法常用电阻加热，电子束轰击镀料，使蒸发成气相，然后沉积在基体表面，历史上，真空蒸镀是PVD法中使用较早的技术。溅射镀膜基本原理：充氩（Ar）气的真空条件下，使氩气进行辉光放电，这时氩（Ar）原子电离成氩离子（Ar），氩离子在电场力的作用下，加速轰击以镀料制作的阴极靶材，靶材会被溅射出来而沉积到工件表面。溅射镀膜中的入射离子，一般采用辉光放电获得，在l0-2Pa～10Pa范围，所以溅射出来的粒子在飞向基体过程中，易和真空室中的气体分子发生碰撞，使运动方向随机，沉积的膜易于均匀。离子镀基本原理：在真空条件下，采用某种等离子体电离技术，使镀料原子部分电离成离子，同时产生许多高能量的中性原子，在被镀基体上加负偏压。这样在深度负偏压的作用下，离子沉积于基体表面形成薄膜。真空镀膜在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在涂覆的物体上凝固并沉积的方法。兰州薄膜沉积

真空镀膜技术在汽车行业的应用有起装饰作用的镀膜，如汽车标牌，内饰件、外饰件。内蒙古金属真空镀膜加工

真空镀膜设备在平板显示行业的应用主要包括有LCD（液晶显示器）、PDP（等离子显示器）、OLED（有机发光二极管显示器）等，以及在液晶显示器基础上发展起来的TP（触控）显示产品。镀膜是现代平板显示产业的基础环节，为保证大面积膜层的均匀性，提高生产率和降低成本，几乎所有类型的平板显示器件都会使用大量的镀膜材料来形成各类功能薄膜，其所使用的真空镀膜主要为溅射靶材，平板显示器的很多性能如分辨率、透光率等都与溅射薄膜的性能密切相关。平板显示镀膜用溅射靶材主要品种有：铬靶、铝靶、钼靶、铜靶、铝合金靶、铜合金靶、钛靶、硅靶、铌靶和氧化铟锡（ITO）靶材等。内蒙古金属真空镀膜加工

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