氦质谱检漏仪检漏方法：1、正压法检漏：示漏气体He充入容器里面，处于正压，然后用氦质谱检漏仪去检测，容器外层是否有气体He，如果容器外有气体He，则容器有漏。用这种方式能检测出漏点，并能大概判断泄漏的程度。这种检漏方式叫Sniffer检漏或正压检漏。2、负压法检漏：示漏气体He喷在容器外面，用氦质谱检漏仪去检测容器里面是否有气体He。这种方式能检测出漏点，并能测知漏率。这种检漏方式叫负压检漏，也叫真空检漏。氦质谱检漏仪如何选择检漏方式，与检测对象的工作环境有很大关系，尽量做到与检测对象的工作状态一致。如检测对象工作时内部处于正压，上海分体式检漏仪哪家好，上海分体式检漏仪哪家好，则用正压模式，如检测对象工作时内部处于负压，上海分体式检漏仪哪家好，则用真空模式。在氦质谱检漏仪运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够。上海分体式检漏仪哪家好

检漏仪分子泵故障及处理：1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作，有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。2、分子泵加速指示灯不亮，电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。3、分子泵故障灯亮，检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为检漏仪分子泵电源故障。气密性检漏仪品牌启动时间是指氦质谱检漏仪自接通电源到能进行检漏的时间。

为什么要使用氦质谱检漏仪进行检漏？很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力作用时，流进或流出这个空间，如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶，氧气瓶，空调冰箱的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

氦质谱检漏仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修ZX处理。检漏仪在我国更多真空设备的检查之中得到了普遍的应用。

检漏仪常规氦检漏的基本要求：在使用前需要采用标准氦校准漏孔进行校准，该标准漏孔必须经过计量校准过的，它与温度和使用年限有关。如LK-8标准校准漏孔的漏率为1.65X10-8 Pa M3/s；在正式检漏前，工件内部要用氦气将工件内部的空气排出，保证一定的氦气浓度，并保持氦气压力必须高于标准大气压(0.1MPa)以上, 且持续保压至少30min以上。检测时，工件周围防止通风，且不能降低氦气的检测灵敏度。注意周边的环境必须保持没有额外的氦气存在。检测时要注意安全防止氦气引起的窒息。检测中要使吸口嘴必须保持与检测位置的距离不超过3mm，为了便于检测可以在吸口嘴外套个塑料盖确保在泄漏点出来的氦气不会立刻散开，提高检测灵敏度。漏率可以直接从仪器上读取，可以设置漏率超标时报警；该方法属于半定量方法，一般要求漏率小于1 X 10-6 Pa M3/s为合格。使用中尽量将预置真空开关空挡可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。上海分体式检漏仪哪家好

检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声。上海分体式检漏仪哪家好

检漏仪怎么选择适合的检漏方法？ 氦质谱检漏的实际应用方案很多，常用的三种检漏方法有负压法（抽真空），正压法（吸入法）和背压法（压氦法），可以发现有不同的叫法，这是根据不同的检测方式命名的。采用什么方法要视被检件的结构、检漏的经济效益及检漏系统的性质来决定。根据不同的检漏目的，常用基础的有3种检漏方法。负压法（喷氦法），对被检工件抽真空，可对被检工件外可疑漏点喷氦，也可将工件罩起来对氦罩内喷氦，可根据工件容积大小选配辅助泵或不加辅助泵，可检测工件的具体漏点和准确漏率；正压法（吸入法），可分为真空箱法和吸口法两张模式，真空箱法详见真空箱式氦检成套设备，工件内充氦气，吸抢检测，可根据工件漏率选择性充入一定比例混合氦气，可检测工件的具体漏点，检测精度高。背压法，可根据工件大小定制罐体大小；可检测工件的整体漏点；检测精度较高。上海分体式检漏仪哪家好

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