真空蒸镀工艺一般包括基片表面清洁、镀膜前的准备、蒸镀、取件、镀后处理、检测、成品等步骤。(1)基片表面清洁。真空室内壁、基片架等表面的油污、锈迹、残余镀料等在真空中易蒸发，直接影响膜层的纯度和结合力。镀前必须清沽干净。(2)镀前准备。镀膜室抽真空到合适的真空度，对基片和镀膜材料进行预处理。加热基片，其目的是去除水分和增强膜基结合力。在高真空下加热基片，能够使基片的表面吸附的气体脱附。然后经真空泵抽气排出真空室，有利于提高镀膜室真空度、膜层纯度和膜基结合力。然后达到一定真空度后．先对蒸发源通以较低功率的电，进行膜料的预热或者预熔，为防止蒸发到基板上，用挡板遮盖住蒸发源及源物质，然后输入较大功率的电，蒸镀机系列-FS300价位，将镀膜材料迅速加热到蒸发温度，蒸镀时再移开挡板。(3)蒸镀。在蒸镀阶段要选择合适的基片温度，蒸镀机系列-FS300价位、镀料蒸发温度外，沉积气压是一个很重要的参数。沉积气压即镀膜室的真空度高低，决定了蒸镀空间气体分子运动的平均自由程和一定蒸发距离下的蒸气与残余气体原子及蒸气原子之间的碰撞次数。(4)取件。膜层厚度达到要求以后，蒸镀机系列-FS300价位，用挡板盖住蒸发源并停止加热，但不要马上导入空气。真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。蒸镀机系列-FS300价位

真空镀膜机的保养：真空镀膜机的扩散泵连续使用6个月以上，抽速会明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作。方法：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，无法进入工作状态。武汉蒸镀机系列-FS-G1-3真空镀膜机采用真空下蒸发或溅射镀膜的形式无污染，是一种绿色低碳、符合行业的可持续发展战略方式。

真空镀膜机镀塑料时抽真空时间过长主要原因就是：1、真空室有漏气现象：大家都知道，多弧离子镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的，若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置，则真空镀很长时间都不能抽得上来的；2、即使真空室没有漏气，因为塑料产品的放气量大，所以抽真空，溅控溅射镀膜机特别是高真空很难达到。而且由于塑料产品的放气，造成真空室内镀膜气体的不纯，有杂气的存在，造成镀膜产品的颜色发暗，发黄，发黑等。

真空镀膜设备维修保养又有什么技巧呢？1、当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需更换新油。方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢。2、扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将一级喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。真空镀膜机设计焊缝结构的时候，接头一定要焊透，应该避免产生聚集污物的有害空间。

真空镀膜机对焊接的要求是什么？1、设计焊缝结构的时候，接头一定要焊透，应该避免产生聚集污物的有害空间。正确焊接是将焊缝放在真空一侧且进行深度熔焊，错误焊接大多都会形成死空间，也就是两焊缝之间堵住一些空间，里面贮有气体。2、焊缝应该一次焊好，以避免两次焊接的时候造成死空间而不能检漏。3、焊缝因为强度需要进行两面焊接的时候，内部焊缝应该不漏气，为了检漏起见，在进行外焊时应设置钻孔塞。4、如果容器内须进行结构焊接的时候，内部焊缝不应该连续，以便让来自任何沟槽的气体容易放出，而且结构焊缝不应与密封焊缝相交叉。5、焊接组件应该设计的使数量的焊缝可以在制造阶段分别测试，且能在进行装配以前进行矫正。6、焊接密封的允许漏率(对空气)，在焊缝长度上约为10-7Pa·m3(s·m)。若漏率比较高，应该将焊缝磨掉，直到露出母材，再重新焊接，切记别在原来产生漏气的地方进行两次焊接，因为补焊不但不易堵住漏孔，反而容易产生应力使焊缝产生新的裂缝。真空镀膜机操作人员必须严格按设备操作指导书和安全操作规程进行作业。福州半导体蒸镀机设备

利用真空镀膜机可以有效的改善电镀的污染状况。蒸镀机系列-FS300价位

真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前，对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命，由于各种污染物不仅使真空体系不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件衔接处的强度和密封性能。真空镀膜机常见的污染物有：1、油脂包含加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；2、操作时候的手汗，吹气的时候的水汽和唾液等等；酸、碱、盐类物质清洗时的剩余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。清洁这些污染物的意图是为了改善真空镀膜机工作稳定性，使工作能够更顺利的进行。蒸镀机系列-FS300价位

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