真空腔体特点：(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大幅度降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)腔体内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)腔体内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，惠州大型真空腔体作用，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，惠州大型真空腔体作用，惠州大型真空腔体作用，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。真空腔体能够在-270—900℃工作。惠州大型真空腔体作用

新完成的腔体首一次烘烤时，一般需要一周时间，重复烘烤后单独的烘烤时间可以适当减少。为了更准确地测量真空度，停止烘烤后也应该对真空计进行除气处理。如果真空泵能力充分而且烘烤时间充足的话，烘烤后真空度可提升几个数量级。一个大气压在1cm2的面积上产生约1kgf的压力，对直径20cm的法兰来讲，就是1t的压力。圆筒或球形的腔体，由于构造的特殊性使得压力分散，腔体的壁厚2——4mm就不会变形。但是，对于方形腔体，侧面的平板上要承受上吨的压力，必须通过增加壁厚或设置加强筋，才能防止变形。方形腔体一般情况下要比筒形和球形腔体重，而且价格高。真空腔体分别为筒形、球形和方形。惠州大型真空腔体作用真空腔体烘烤采用缠绕加热带的方式。

真空腔体的密封有两种情况，一种是密封件把充满液态介质的某一容器与外部真空空间分割开。在这种情况下，密封件的主要作用是防止液态介质漏入真空空间。另一种情况是密封件把真空内腔与外腔分割开，它的作用是保持要求的真空度。这种情况比较复杂，因为周围气体介质即使稍微漏入真空腔内，也会使其真空度降低。如果漏入了腐蚀性气体，真空设备就可能损坏。在很多情况下，真空度和真空空间的洁净，对真空条件下进行的各种工艺过程的质量有决定性的影响。

真空管式炉是采用国际先进技术研制开发的高性能高节能的新型电炉，有单管、双管、卧式、可开启式、立式、单温区、双温区、三温区等多种管式炉型。主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。具有安全可靠、操作简单、控温精度高、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可选配气氛、抽真空炉型等。使用真空管式炉时，只需将实验材料放入石英管或刚玉管内，通过不锈钢法兰将石英管或刚玉管进行密封，通过真空泵或法兰上预留的进气口，抽取石英管或刚玉管内的气体或通入特定的气氛，在对石英管或刚玉管进行加热即可满足实验的要求。普遍应用在半导体、纳米材料、碳纤维、石墨烯等新材料、新工艺领域。真空腔体内部的传热形式设定为只有辐射传热。

真空腔体烘烤采用缠绕加热带的方式。当真空度达到约10-3Pa时，开始给加热带逐渐通电加热，保持腔体在150℃下进行长时间烘烤。烘烤过程中关闭离子泵，同时也给离子泵通电进行加热烘烤，这时的真空腔体只靠分子泵和前级泵来排气。随着腔体温度的升高，腔体内表面吸附的水蒸气等气体分子大量放出，真空度会迅速恶化。气体的放出量随着烘烤时间的延长而逐渐减少，因此真空度也逐步好转。停止烘烤时，切断加热带和离子泵的烘烤电源，然后趁腔体仍处在高温的状态下对钛升华泵进行除气处理。钛升华泵的除气处理是指给Ti丝通电加热，但又控制温度在Ti升华温度之下的操作。钛升华泵除气处理的目的是清理吸附在Ti丝表面的气体分子以及其他可能的污染物，以确保钛升华泵的正常工作。充分完成钛升华泵的除气处理之后，启动离子泵和钛升华泵，加大真空排气的力度。随着排气力度的增大和由于腔体温度降低而放出气体的减少，系统的真空度会迅速好转。超高真空腔体的氩弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免存在死角而发生虚漏。惠州大型真空腔体作用

真空腔体在高真空和超高真空系统中，应用普遍。惠州大型真空腔体作用

真空腔体结构特点：1、腔体内胆均采用镜面不锈钢板或拉丝板氩弧焊接制作而成，外壳采用优良冷轧钢板静电喷塑，造型美观新颖。2、保温系统采用超细玻璃纤维填充保温区，内外胆连接部位采用非金属耐高温材料，有效降高温度传导。3、电路系统侧采用门式开启，方便维护和检修。4、腔门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶密封圈，确保腔内高真空度。5、储存、加热、试验和干燥都是在没有氧气的环境里进行，所以不会氧化。6、长方体工作室，使有效容积达到较大。7、钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体，一目了然。8、带定时功能的微电脑温度控制器，控温精确可靠。惠州大型真空腔体作用

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