干涉仪是很***的一类实验技术的总称， 其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息， 从而获得实验所关心的物理量。干涉仪并不仅*局限于光干涉仪。 干涉仪在天文学 (Thompson et al, 2001) [1]  ， 光学， 工程测量， 海洋学， 地震学， 波谱分析， 量子物理实验， 遥感，苏州光学系统透射波前激光干涉仪型号， 雷达等等精密测量领域都有广泛应用（Hariharan，苏州光学系统透射波前激光干涉仪型号， 2007）

具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化， 从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息

干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类， 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪，苏州光学系统透射波前激光干涉仪型号， 而Sagnac干涉仪， 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪 平面类（平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等）光滑表面面形测量。苏州光学系统透射波前激光干涉仪型号

激光器输出的纵模间隔为：ΔVL=C/(2nL0)，式中C为光速，n为激光器腔内折射率，L0为激光器的腔长。选择激光器腔长，使其在多普勒带宽之内主要有二个纵模输出，可得到高频差的双频激光，例如选择腔长220mm，可得到频差为680MHz的双频激光。双纵模激光干涉仪采用等强度的稳频方法，由于频差大，原理上可以达到极高的测量速度，但是高频差也使光电接受、信号处理更为困难。激光干涉仪是以波长作为测量基准的，大频差造成的两束光的波长差别是不能忽略的，可以计算，在频差为680MHz时，可以引起的误差。因此必须确认产生多普勒频移的激光波长作为测量的基准。也由于此，双纵模激光干涉仪也难以应用在角度测量，直线度测量这样的利用差动原理的测量项目。江苏金属平面激光干涉仪概念光学镜片检测、工业计量检测、光学加工等工业领域对球面面形的检测应用需求。

由于双频激光干涉仪是交流系统，具有优异的系统增益和抗干扰能力，不存在直流漂移，所以从1970年HP公司推出***台基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪后，在相当时期内，这种系统垄断了激光干涉仪市场。外差式激光干涉议的测量速度受到两束光的频差大小限制，根据前述的多普勒效应方程式可得到：Δf≈3.3V。在塞曼效应的激光器中，频差高到一定程度，模牵引效应消失，频差也消失。这也是基于塞曼效应效的双频激光干涉议的测量速度难以提高的原因。一般，横向塞曼效应产生激光频差一般在几百kHz以内，纵向塞曼效应产生的激光频差可以达到3.4〜4MHz。

基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图，双纵模稳频的激光器输出激光，由检偏器P抑制一个纵模输出，线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器，衍射的0级输出保持原频率f1和原方向，1级输出偏转一个(-θ)角，并产生频移，频移后的频率变为f2，此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率，也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离，通过一个孔栏A得到了同轴的，具有频差(f2-f1)的，偏振方向相互垂直的双频激光。一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量， 90°直角棱镜和角锥测量。

白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。SuperViewW1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、****、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。应用领域：计量领域（平面平晶检测），半导体工业（晶片检测），手机工业背板检测。苏州球面激光干涉仪方案

不同F数的柱面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量。苏州光学系统透射波前激光干涉仪型号

计量检测，光学镜片检测、光学组件检测，手机背板和相机镜头检测，半导体晶圆检测，LED衬底蓝宝石检测，安防镜头和车载镜头检测，航空航天成像系统检测，超精密机械件检测，光学成像系统和衍射元件检测，纳米器件和MEMS检测，科研和高等教学仪器等众多领域。平面类（平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等）光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量，90°直角棱镜和角锥测量；球面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量；柱面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量；非球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。苏州光学系统透射波前激光干涉仪型号

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