igbt芯片的边缘还设置有终端保护区域,其中,终端保护区域包括在n型耐压漂移层上设置的多个p+场限环或p型扩散区;从而通过多个p+场限环或p型扩散区对igbt芯片进行耐压保护,在实际应用中,由于p+场限环或p型扩散区的数量与igbt芯片的电压等级有关,因此,关于p+场限环或p型扩散区的数量,本发明实施例对此不作限制说明。具体地,图7示出了一种igbt芯片的表面结构图,如图7所示,第1发射极单元金属2为第1发射极单元101在第1表面中的设置位置,空穴收集区电极金属3为电流检测区域20的电极空穴收集区在第1表面中的设置位置。当改变电流检测区域20的形状时,如指状或者梳妆时,igbt芯片的表面结构如图8所示,本发明实施例对此不作限制说明。在图7的基础上,图9为图7中的空穴收集区电极金属3按照a-a’方向的横截图,如图9所示,电流检测区域20的空穴收集区8与空穴收集区电极金属3接触,在每个沟槽内填充有多晶硅5,此外,在两个沟槽中间,还设置有p阱区7和n+源区6,以及,在沟槽与多晶硅5中间设置有氧化物4,以防多晶硅5发生氧化。此外,在第1表面和第二表面之间,还设置有n型耐压漂移层9和导电层,这里导电层包括p+区11,以及在p+区11下面设置有公共集电极金属12。
可控硅可控硅简称SCR,是一种大功率电器元件,也称晶闸管。它具有体积小、效率高、寿命长等优点。在自动控制系统中,可作为大功率驱动器件,实现用小功率控件控制大功率设备。它在交直流电机调速系统、调功系统及随动系统中得到了的应用。可控硅分单向可控硅和双向可控硅两种。双向可控硅也叫三端双向可控硅,简称TRIAC。双向可控硅在结构上相当于两个单向可控硅反向连接,这种可控硅具有双向导通功能。其通断状态由控制极G决定。在控制极G上加正脉冲(或负脉冲)可使其正向(或反向)导通。这种装置的优点是控制电路简单,没有反向耐压问题,因此特别适合做交流无触点开关使用。IGBTIGBT绝缘栅双极型晶体管,是由BJT(双极型三极管)和MOS(绝缘栅型场效应管)组成的复合全控型电压驱动式功率半导体器件,兼有MOSFET的高输入阻抗和GTR的低导通压降两方面的优点。GTR饱和压降低,载流密度大,但驱动电流较大;MOSFET驱动功率很小,开关速度快,但导通压降大,载流密度小。IGBT综合了以上两种器件的优点,驱动功率小而饱和压降低。IGBT非常适合应用于直流电压为600V及以上的变流系统如交流电机、变频器、开关电源、照明电路、牵引传动等领域。
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