为什么真空镀膜设备要配套冷水机？冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜设备的温度，使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下，自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响，而且此方式控制是不稳定的。因此，可以说冷水机是设备中很重要的配套冷却设备，因为冷水机直接关系到其工作效果的好坏，半导体蒸镀机供应公司。这个要从真空镀膜设备的工作原理查看：膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以在高真空下才能使结晶体细密光亮，如果真空度不高结晶体就会失去光泽，结合力也很差。冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统，水温在5℃～30℃范围内调节控制，可以到高精度、高效率控制温度的目的，半导体蒸镀机供应公司。其冷却原理是：制冷系统将水冷却，再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜设备进行降温，冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱，半导体蒸镀机供应公司，起到冷却的作用。真空镀膜机中途停电时，应立即关总电源，后关扩散泵、粗抽泵、维持泵。半导体蒸镀机供应公司

真空镀膜机的维修方法介绍：当正在镀膜时真空度突然下降：1、蒸发源水路胶圈损环（更换胶圈）；2、坩埚被打穿（更换坩埚）；3、高压电极密封处被击穿（更换胶圈）；4、工转动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏（更换二位五通阀）；7、机械泵停机可能是继电器断开（检查继电器是否工作正常）；8、烘烤引入线电极密封处被击穿（更换胶圈）；9、挡板动密封处胶圈损坏（更换胶圈）；10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂（更换玻璃）。蒸镀机系列-FS200生产真空镀膜机进行真空镀膜一段时间后，真空室内壁要清洁处理。

真空镀膜机运用镀膜资料镀膜之前，对镀膜资料做简略的外表清洁能延伸镀膜机运用寿命，由于各种污染物不仅使真空体系不能获得所要求的真空度，还会影响真空部件衔接处的强度和密封性能。真空镀膜机常见的污染物有：1、油脂包含加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等；2、操作时候的手汗，吹气的时候的水汽和唾液等等；酸、碱、盐类物质清洗时的剩余物质、手汗、水中的矿物质等；还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。清洁这些污染物的意图是为了改善真空镀膜机工作稳定性，使工作能够更顺利的进行。

真空蒸镀使用的加热方式主要有：(1)电弧加热：电弧蒸镀利用高真空中两导电材料制成的电极之间形成电弧放电产生的高温，使电极材料蒸发而在基体上凝聚成膜。(2)激光加热：脉冲激光加热表面可实现材料的瞬时蒸发，脉冲激光作为一种新的加热源，其特点之一是能量在时间和空间上高度集中，与常规的热蒸发有明显区别。带有离子轰击装置的激光蒸发，已用于若干材料的低温沉积，其中包括高质量的高温超导氧化物薄膜。激光蒸发可用于透明材料上薄膜的蒸发，从透明材料的背面照射待蒸发薄膜，把基体面向待蒸发薄膜放置，通过控制蒸发区域，则在基体上可沉积出带花纹的薄膜。真空镀膜机排气系统通常由机械泵、分散泵、管路和阀门组成。

真空镀膜机扩散泵维修与保养：1、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用清水进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。2、待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。3、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。真空镀膜机中途停水时，应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵，让维持泵继续运行。西藏小型真空蒸镀机

真空镀膜机属于硬件设备，为了充分发挥其功能特点，还需要与之相结合的相应软件。半导体蒸镀机供应公司

真空镀膜是必须保持在真空环境下进行的才行。因此真空镀膜机若有灰尘，将会影响真空镀膜的效果和质量。但是，需要镀膜材料表面是没办法保证是完全无灰尘的，因此，为了尽量减小材料表面灰尘的前提下，真空镀膜机镀膜的时候必须要注意以下几点才行。（1）真空镀膜设备使用一段时间后，必须要对设备进行清洁维护；（2）规范操作人员及操作要求，包括穿戴专业的服装、手套、脚套等；（3）严格处理衬底材料，做到清洁干净，合乎工艺要求；（4）源材料符合必要的纯度要求；（5）保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求，环境温度湿度要求等；（6）降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。半导体蒸镀机供应公司

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