由于激光具有极好的时间相干性，江苏激光球面激光干涉仪产品介绍，其相干距离可以达到数公里，所以自激光问世以来，以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注，其应用范围不断扩展，激光干涉仪技术也不断发展，出现了各种形式的激光干涉仪，江苏激光球面激光干涉仪产品介绍，江苏激光球面激光干涉仪产品介绍。尽管存在各种形式的激光干涉仪，但从原理上讲，可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machelson干涉仪系统，图1为单频激光干涉仪原理示意图，分光镜BS将激光分为2束，一束射向定镜R，另一束射向动镜M，当动镜M移动时，经R和M的反射光在O处汇合产生干涉，由于分光镜金属膜的附加相移性质，光电探测器D1、D2接受的信号相位差为90°，用于计数器的方向辨别。激光干涉仪：数字化动态分析。江苏激光球面激光干涉仪产品介绍

单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自从发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。江苏激光球面激光干涉仪产品介绍激光干涉仪有： 无应力平面检测干涉仪， 无应力平面检测干涉仪，现场高效球面检测干涉仪。

根据激光干涉仪的原理，我们可以清楚知道，激光干涉仪是用来检测设备的运动精度的，SJ6000激光干涉仪目前在机床、直线电机、滑台、模组、自动化设备、机器人等领域广泛应用。

白光干涉仪以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光**终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 球面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量。

激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。 激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以 迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种 折射镜、 反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。 英文名称：laser interferometer（激光干涉仪） 激光干涉仪分类 激光干涉仪有单频的和双频的两种。无应力平面检测干涉仪是一款具有在振动环境下测试能力和共光路特点的费索型激光干涉仪。江苏非球面激光干涉仪价位

激光干涉仪：数字化相移分析。江苏激光球面激光干涉仪产品介绍

计量检测，光学镜片检测、光学组件检测，手机背板和相机镜头检测，半导体晶圆检测，LED衬底蓝宝石检测，安防镜头和车载镜头检测，航空航天成像系统检测，超精密机械件检测，光学成像系统和衍射元件检测，纳米器件和MEMS检测，科研和高等教学仪器等众多领域。平面类（平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等）光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量，90°直角棱镜和角锥测量；球面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量；柱面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量；非球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。江苏激光球面激光干涉仪产品介绍

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