激光干涉仪是以干涉测量法为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。激光具有三个重要的特性：①波长稳定②波长短③具有干涉性。光的相长干涉和相消干涉：一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束①具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束②和透射光束③，江苏角锥测量激光干涉仪参考价。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，江苏角锥测量激光干涉仪参考价，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束④，江苏角锥测量激光干涉仪参考价。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。 应用领域：光学加工（窗口玻璃检测）。江苏角锥测量激光干涉仪参考价

激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏转（角）、俯仰（角）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。江苏光学均匀性激光干涉仪型号可实现90°直角棱镜和角锥测量。

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，**初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10。从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式

激光干涉仪激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，此误差被称为余弦误差。

死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，从而增大测量误差。 激光干涉仪测试项目：球面测量。

把一束激光用分光镜分成两路，这两路光是频率相同的，调整两路光的行程差（只是激光波长的一半，很微小），使得这两路光有相位差；它们平行叠加时就产生干涉现象。我们把这种激光设想为正弦波，如下图，当2个频率相同且相差1/4个波长的正弦波叠加时，振幅有的地方变强了（这对应着光的强度变大了，亮些），有的地方变弱了（这对应着光的强度减弱了，暗些）；所以，2个亮条纹中心之间的距离表示该激光的1/2个“波长”；只要在1米长的范围内计算有多少个亮条纹，就可以知道此激光的“波长”是多少，从而知道它的“频率”是多少了。激光干涉仪测试项目：角锥角度测量。江苏水平式激光干涉仪性能

样品准直：使用两个光点。江苏角锥测量激光干涉仪参考价

激光干涉仪原理：经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。江苏角锥测量激光干涉仪参考价

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