激光干涉仪的发展史做衣量身、体检量高都由尺子完成，这些日常尺子的刻度是毫米，苏州光学材质均匀性激光干涉仪供应商家。机械零件加工和检验都要需要用到尺子，苏州光学材质均匀性激光干涉仪供应商家，在机械制造企业，卡尺、千分尺随处可见，其精确度是10μm，苏州光学材质均匀性激光干涉仪供应商家、1μm。1887年迈克尔逊（Michelson）和莫雷（Morley）研究以太[1]是否存在，使用了光。他们以光波长作尺子刻度测量了水平面和垂直面的光速之差，***次否定了以太的存在。他们利用的是光的干涉现象，这就是光学干涉仪的诞生。注[1]:根据古代和中世纪科学，以太被称为第五元素，是填充地球球体上方宇宙区域的物质。以太的概念在一些理论中被用来解释一些自然现象，例如光和重力的传播。19世纪末，物理学家假设以太渗透到整个空间，以太是光在真空中传播的介质，但是在迈克尔逊-莫利实验中没有发现这种介质存在的证据，这个结果被解释为没有光以太存在。1961年研究人员发明了氦氖激光器，开始用氦氖激光器作为迈克尔逊干涉仪的光源，从而诞生了激光干涉仪。图1是迈克尔逊干涉仪简图。迈克尔逊干涉仪是普通物理的基本实验之一。***在科学研究和工业中应用的激光干涉仪出于迈克尔逊，但性能远远胜于迈克尔逊。CCD分辨率：1280*960像素。苏州光学材质均匀性激光干涉仪供应商家

激光干涉仪原理：经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。江苏球面检测激光干涉仪方案现场高效球面检测干涉仪是一种高性能模块化组合检测干涉仪。

干涉仪是很***的一类实验技术的总称， 其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息， 从而获得实验所关心的物理量。干涉仪并不仅*局限于光干涉仪。 干涉仪在天文学 (Thompson et al, 2001) [1]  ， 光学， 工程测量， 海洋学， 地震学， 波谱分析， 量子物理实验， 遥感， 雷达等等精密测量领域都有广泛应用（Hariharan， 2007）

具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化， 从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息

干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类， 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪， 而Sagnac干涉仪， 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 应用领域：计量领域（平面平晶检测），半导体工业（晶片检测），手机工业背板检测。

激光干涉仪工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。激光干涉仪光源波长：632.8nm。江苏球面检测激光干涉仪方案

激光干涉仪测试项目：球面测量。苏州光学材质均匀性激光干涉仪供应商家

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，**初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10。从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式苏州光学材质均匀性激光干涉仪供应商家

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