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拉萨蒸镀机系列 苏州方昇光电供应

信息介绍 / Information introduction

真空镀膜机如何选择?1、设备的稳定性必须好,拉萨蒸镀机系列,所选配件必须可靠。镀膜机本身是一个复杂的系统,拉萨蒸镀机系列,包括真空、自动化、机械等多个系统。任何部件的不可靠,都会导致系统不稳定,给生产带来不便。因此,一个稳定的设备应该确保所选的每个部件都是可靠的。2、抽真空系统,目前基本上有两种,一种是扩散泵系统,另一种是分子泵系统,拉萨蒸镀机系列,分子泵系统属于清洁抽真空系统,没有扩散泵的返油现象,抽油速度也比较稳定,而且比较省电,电费支出是镀膜企业生产经营成本的一个重要环节。对泵系统的定期维护非常重要,尤其是润滑油的定期更换,要注意油品牌号的选择,选错了很容易损坏真空泵。真空镀膜机进行真空镀膜一段时间后,真空室内壁要清洁处理。拉萨蒸镀机系列

如何处理真空镀膜机返油?1.启动电源主开关,这里需要注意的是电压和气压是否正常,另外冷却循环水势否大于1.5KG/cm2,这里需要先开冷却开关和水泵开关。2.启动扩散泵按钮时电流是否正常,以及扩散泵的下面是否有杂物,要是发现杂物要立即进行清理,正常情况下要预热一个半钟头才能进行抽真空。3.启动维持泵按钮,需要注意油和油位是否干净,皮带松紧是否合适。要是油位低于正常水平要及时进行加油。4.主泵按钮启动,在操作的时候要注意主泵有无异响和异味,油和油位是否干净,另外还需要检查马达皮带松紧是否合适,检测皮带松紧的标准是使用手压皮带下沉10—15毫米为准。5.关闭设备门进行抽真空,在进行这步操作的时候要注意粗转精抽切换是否正常,换向阀运行是否正常,以及各项参数、性能有无异常。需要做好记录,以备日后检修参考。6.充气,时间不可进行过长,正常情况下小于两分钟,同时需要注意开门和关门的时间,做好记录,一遍下回检修的时候进行参考。呼和浩特太阳能电池蒸镀机真空镀膜技术代替传统的电镀工艺,能节省大量的膜材和降低能耗。

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,真空镀膜有很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。应用较多的是蒸发和溅射两种。蒸发镀膜和磁探溅射镀膜的特点如下:一、对于蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。1、厚度均匀性主要取决于:A.基片材料与靶材的晶格匹配程度;B.基片表面温度;C.蒸发功率、速率;D.真空度;E.镀膜时间、厚度大小。2、组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

为什么真空镀膜设备要配套冷水机?冷却配套冷水机的作用是维持真空镀膜设备的温度,使其工作到高精度、高效率控制温度的目的。以前在没冷水机的情况下,自然水和水塔散热都不可避免地受到自然气温的影响,而且此方式控制是不稳定的。因此,可以说冷水机是设备中很重要的配套冷却设备,因为冷水机直接关系到其工作效果的好坏。这个要从真空镀膜设备的工作原理查看:膜料在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜料分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光,所以在高真空下才能使结晶体细密光亮,如果真空度不高结晶体就会失去光泽,结合力也很差。冷水机设有制冷系统和冷却水循环系统,水温在5℃~30℃范围内调节控制,可以到高精度、高效率控制温度的目的。其冷却原理是:制冷系统将水冷却,再由水泵将低温冷却水送入真空镀膜设备进行降温,冷水机冷冻水将热量带走后温度升高再回流到水箱,起到冷却的作用。真空镀膜机的观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。

真空镀膜机成膜不均的因素有哪些?真空镀膜机抽气不均会影响镀膜均匀性,基片干净很重要。真空镀膜前要将基片表面认真清洁干净,达到工件去油、去污和脱水的目的。基板表面污染从零件在加工,运输等过程中附着的各种各样的灰尘、油脂、抛光膏、汗渍等,在潮湿环境下,基片表面易氧化,形成氧化膜吸附气体。对于这些污物,都能用去油或化学方法清洗干净。干净的基片不要直接放在外面,需要用封闭容器存放,减少沾污。镀膜室内也是会积灰的,所以要清洗镀膜室内,烘烤除气,并将机器放置在干净的环境里。注意扩散泵返油,镀膜的原材料有很多,如树脂、硅酮、硅盐酸、聚合物等,辅料、配方的比列有所不同,薄膜也不同。真空镀膜机不像化学电镀会用重金属溶液和酸溶液进行镀膜。拉萨蒸镀机系列

真空镀膜机的镀膜方式是一种绿色低碳、符合行业的可持续发展战略的方式。拉萨蒸镀机系列

真空镀膜机设备表面处理的基本方法:1、溶剂脱脂,附着在真空设备零件上的油可分为动植物油和矿物油。动植物油可用碱溶液化学法除去,矿物油可用有机溶剂除去。然而,在实际的清洗设备中,通常使用两种溶剂。2、酸碱侵蚀处理,设备除油后,金属表面的氧化物可用酸蚀或碱蚀去除。热处理后,设备零件无油污。真空退火后可直接进行酸/碱腐蚀去除氧化层污染。3、电化学清洗和电解抛光,介绍了电化学清洗的原理和配方,指出电解抛光的电解液不同于电解蚀刻液。电化学抛光的电解液配方和抛光规范如下:1.正磷酸(HPo):65%(质量百分比);2.硫酸:15%;3.铬酸(CRO):6%;4.去离子水:14%;5.电流密度:0.2~0.5a/cm2;6.电压:6~12V;7.工作温度:约75°C;8.时间:5~10min。电抛光后,将零件放入2%-5%氨水中15s-20s,用水冲洗,用无水乙醇脱水,干燥。拉萨蒸镀机系列

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