真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。真空对环境的要求,一般包括真空设备对所处实验室(或车间)的温度、空气中的微粒等周围环境的要求,和对处于真空状态或真空中的零件或表面要求两个方面,天津蒸镀机系列。这两个方面是有密切联系的。周围环境的好坏直接影响真空设备的正常使用;而真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗,又直接影响设备的性能。如果空气中含有大量的水蒸气和灰尘,天津蒸镀机系列,天津蒸镀机系列,在真空室没有经过清洗的情况下用油封机械泵去抽气,要达到预期的真空度很难的。真空蒸镀装置由真空抽气系统和蒸发室组成。天津蒸镀机系列
真空镀膜机的操作注意事项:1、真空镀膜机操作员要穿着整洁,袖口扣紧(佩戴袖套),上衣下摆不能敞开,不得穿拖鞋、高跟鞋;2、检查电路各控制开关能否正常断开闭合,电压指示380±20V;3、检查各螺钉处连接是否牢固,电控柜、主机的连接线有无松脱现象、接地是否良好;所有电器的开关在零或者“关”的位置上;4、检查镀膜机室内不锈钢挡板的插销是否牢固,角部有无弯曲翘曲等变形情况;5、检查水压、气压是否正常;水、油、气是否有漏滴现象;6、设备中途停水时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行;7、设备中途停气时,应立即关闭扩散泵、粗抽泵、罗茨泵,让维持泵继续运行。乌鲁木齐真空蒸镀机真空镀膜机过程的清洁度是影响真空镀膜附着力的主要指标之一。
真空镀膜机镀膜前的清洗:真空加热清洗,将工件放置于常压或真空中加热。促使其表面上的挥发杂质蒸发来达到清洗的目的,这种方法的清洗效果与工件的环境压力、在真空中保留时间的长短、加热温度、污染物的类型及工件材料有关。其原理是加热工件。促使其表面吸附的水分子和各种碳氢化合物分子的解吸作用增强。解吸增强的程度与温度有关。在超高真空下,为了得到原子级清洁表面,加热温度必高于450度才行。加热清洗方法特别有效。但有时,这种处理方法也会产生副作用。由于加热的结果,可能发生某些碳氢化合物聚合成较大的团粒,并同时分解成碳渣。
真空蒸镀使用的加热方式主要有:(1)电弧加热:电弧蒸镀利用高真空中两导电材料制成的电极之间形成电弧放电产生的高温,使电极材料蒸发而在基体上凝聚成膜。(2)激光加热:脉冲激光加热表面可实现材料的瞬时蒸发,脉冲激光作为一种新的加热源,其特点之一是能量在时间和空间上高度集中,与常规的热蒸发有明显区别。带有离子轰击装置的激光蒸发,已用于若干材料的低温沉积,其中包括高质量的高温超导氧化物薄膜。激光蒸发可用于透明材料上薄膜的蒸发,从透明材料的背面照射待蒸发薄膜,把基体面向待蒸发薄膜放置,通过控制蒸发区域,则在基体上可沉积出带花纹的薄膜。降低真空镀膜设备室内空气流动性低、需尽量减小室外灰尘侵入。
真空镀膜机基本技术要求如下:1、真空镀膜机中的真空管道、静态密封零部件(法兰、密封圈等)的结构形式,应符合GB/T6070的规定。2、在低真空和高真空管道上及真空镀膜室上应安装真空测量规管,分别测量各部位的真空度。当发现电场对测量造成干扰时,应在测量口处安装电场屏蔽装置。3、如果设备使用的主泵为扩散泵时,应在泵的进气口一侧装设有油蒸捕集阱。4、设备的镀膜室应设有观察窗,应设有挡板装置。观察窗应能观察到沉积源的情况以及其他关键部位。5、离子镀沉积源的设计应尽可能提高镀膜过程中的离化率,提高镀膜材料的利用率,合理匹配沉积源的功率,合理布置沉积源在真空室体的位置。6、合理布置加热装置,一般加热器结构布局应使被镀工件温升均匀一致。7、工件架应与真空室体绝缘,工件架的设计应使工件膜层均匀。8、离子镀膜设备一般应具有工件负偏压和离子轰击电源,离子轰击电源应具有抑制非正常放电装置,维持稳定。真空蒸镀中的镀层通常为铝膜,但其它镀层也可通过蒸发沉积形成。绝缘体蒸镀机生产厂
真空镀膜技术代替传统的电镀工艺可以消除湿法镀膜中所产生的环境污染。天津蒸镀机系列
真空镀膜机镀前预处理和镀后处理方法:一、镀前预处理:镀前预处理的目的是为了得到干净新鲜的金属表面,为获得高质量镀层作准备,要进行脱脂、去锈蚀、去灰尘等工作。步骤如下:一、使表面粗糙度到要求,可通过表面磨光、抛光等工艺方法来实现;二、去油脱脂,可采用溶剂溶解以及化学、电化学等方法来实现;三、除锈,可用机械、酸洗以及电化学方法除锈;四、活化处理,一般在弱酸中侵蚀时间进行镀前活化处理。二、镀后处理:1、钝化处理,所谓钝化处理是指在溶液中进行化学处理,在镀层上形成一层坚实致密的、稳定性高的薄膜的表面处理方法.钝化使镀层耐蚀性并能增加表面光泽和抗污染能力。这种方法用途很广,镀Zn、Cu及Ag等后,都可进行钝化处理。2、除氢处理,有些金属如锌,在电沉积过程中,除自身沉积出来外,还会析出一部分氢,这部分氢渗入镀层中,使镀件产生脆性,甚至断裂,称为氢脆。为了消除氢脆,往往在电镀后,使镀件在温度下热处理数小时,称为除氢处理。天津蒸镀机系列
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