ITO蚀刻液影响蚀刻速率的因素:氯化铁蚀刻液。1、Fe3+浓度的影响:Fe3+的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3+浓度逐渐增加,对铜的蚀刻速率相应加快。当所含超过某一浓度时,江苏TIO显影药水生产基地,由于溶液粘度增加,蚀刻速率反而有所降低。2、蚀刻液温度的影响:蚀刻液温度越高,江苏TIO显影药水生产基地,蚀刻速率越快,温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则,一般在40~50℃为宜。3、盐酸添加量的影响:在蚀刻液中加入盐酸,可以阻止FeCl3水解,并可提高蚀刻速率,尤其是当溶铜量达到37.4g/L后,盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当,酸度太高,会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。4、蚀刻液的搅拌:静止蚀刻的效率和质量都是很差的,原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成,而使溶液呈暗绿色,江苏TIO显影药水生产基地,这些沉淀会影响进一步的蚀刻。ITO蚀刻液是一种无色透明的液体。江苏TIO显影药水生产基地
温度对各种ITO蚀刻液速率的影响:1.碱性氯化铜蚀刻液。蚀刻速率与温度有很大关系,蚀刻速率随着温度的升高而加快。蚀刻液温度低于40℃,蚀刻速率很慢,而蚀刻速率过慢会增大侧蚀量,影响蚀刻质量;温度高于60℃,蚀刻速率明显增大,但NH3的挥发量也很大程度增加,导致污染环境并使蚀刻液中化学组分比例失调。故温度一般控制在45~55℃为宜。2.酸性氯化铜蚀刻液。随着温度的升高,蚀刻速率加快,但是温度也不宜过高,一般控制在45~55℃范围内。温度太高会引起HCl过多地挥发,造成溶液组分比例失调。另外,如果蚀刻液温度过高,某些抗蚀层会被损坏。常州铜发黑ITO显影液的浓度多以显影液的稀释比来表示。
ITO显影液的用途:银盐胶片显影用的药液称显影液。用于黑白胶片显影的显影液称黑白显影液,用于彩色胶片显影的称彩色显影液。显影液的主要成分是显影剂。为了完善性能,通常还加一些其他成分,诸如促进显影的促进剂,防止显影剂氧化的保护剂,防灰雾生成的灰雾阻止剂和防灰雾剂等。通过对各组分不同用量的调配可以得到不同性能的显影液,如微粒显影液、高反差显影液等。工业上说的显影剂,是针对半导体晶片而言。系列有显影剂、光刻胶等。
已经使用的蚀刻液类型有六种类型:酸性氯化铜、碱性氯化铜、氯化铁、过硫酸铵、硫酸/铬酸、硫酸/双氧水蚀刻液。酸性氯化铜,工艺体系,根据添加不同的氧化剂又可细分为氯化铜+空气体系、氯化铜+氯酸钠体系、氯化铜+双氧水体系三种蚀刻工艺,在生产过程中通过补加盐酸+空气、盐酸加氯酸钠、盐酸+双氧水和少量的添加剂来实现线路板板的连续蚀刻生产。ITO蚀刻液是通过侵蚀材料的特性来进行雕刻的一种液体。从理论上讲,凡能氧化铜而生成可溶性铜盐的试剂,都可以用来蚀刻敷铜箔板,但权衡对抗蚀层的破坏情况、蚀刻速度,蚀刻系数、溶铜容量、溶液再生及铜的回收、环境保护及经济效果等方面。ITO显影液用于黑白胶片显影的显影液称黑白显影液。
ITO蚀刻液影响蚀刻速率的因素:碱性氯化铜蚀刻液。1、氯化铵含量的影响:通过蚀刻再生的化学反应可以看出:[Cu(NH3)2]+的再生需要有过量的NH3和NH4Cl存在,如果溶液中缺乏NH4Cl,大量的[Cu(NH3)2]+得不到再生,蚀刻速率就会降低,以致失去蚀刻能力。所以,氯化铵的含量对蚀刻速率影响很大。随着蚀刻的进行,要不断补加氯化铵。2、Cu2+离子浓度的影响:Cu2+是氧化剂,所以Cu2+的浓度是影响蚀刻速率的主要因素。研究铜浓度与蚀刻速率的关系表明:在0~82g/L时,蚀刻时间长;在82~120g/L时,蚀刻速率较低,且溶液控制困难;在135~165g/L时,蚀刻速率高且溶液稳定;在165~225g/L时,溶液不稳定,趋向于产生沉淀。ITO显影液用于彩色胶片显影的称彩色显影液。江苏TIO显影药水生产基地
ITO显影剂在使用中,显影剂与保护剂、促进剂、阻止剂等配成显影液使用。江苏TIO显影药水生产基地
ITO蚀刻液由氟化铵、草酸、硫酸钠、氢氟酸、硫酸、硫酸铵、甘油、水组成。1、氟化铵:分子式为NH4F,白色晶体,易潮解,易溶于水和甲醇,较难溶于乙醇,能升华,在蚀刻液中起腐蚀作用,一般选用工业产品。2、草酸:在蚀刻液中作还原剂使用,一般选用工业产品。3、硫酸钠:在蚀刻液中作为填充剂使用,一般选用工业产品。4、氢氟酸:即氟化氢的水溶液,为无色液体,能在空气中发烟,有强烈腐蚀性和毒性,能侵蚀玻璃,需贮存于铅制、蜡制或塑料容器中,可作为蚀刻玻璃的主要原料,一般选用工业品。5、硫酸:纯品为无色油状液体,含杂质时呈黄、棕等色。用水稀释时,应将浓硫酸慢慢注入水中,并随时搅和,而不能将水倒入浓硫酸中,以防浓硫酸飞溅而引发事故,可作为腐蚀助剂,一般选用工业品。6、硫酸铵:一般选用工业品。7、甘油:一般选用工业品。8、水:自来水。江苏TIO显影药水生产基地
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