氦质谱检漏仪真空系统一般包括:1、主泵:一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa,其抽速应导气载匹配。2、前级真空泵:一般采用旋片式机械真空泵,在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa,北京检漏仪大概价格多少,抽速导主泵匹配。3、预抽真空泵:一般与前级真空泵共用一个泵,北京检漏仪大概价格多少,也有特定预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵,其抽速视被检件大小而定,因此预抽真空泵大都由用户自配。4、真空规:一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规,又称冷规)来测量质谱室中的压力,北京检漏仪大概价格多少。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声。北京检漏仪大概价格多少
氦质谱检漏仪对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑:(1)无害,不能对人体或环境造成伤害;(2)质量轻,惰性气体,穿透能力强,能穿透微小细缝;(3)化学性质稳定,不会引起化学反应和易燃易爆;(4)在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体,满足检漏灵敏度方面的要求,减少本底干扰检测的准确性。氦质谱检漏仪的检漏方式通常有两种,一种为常规检漏,另一种为逆扩散检漏。逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端,漏入的氦气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。北京检漏仪大概价格多少氦质谱检漏仪能适合各种检漏方法的要求,以满足各种各样的检漏应用。
氦质谱检漏仪漏率的校准方法:一、环境条件,校准环境温度为(23±5)℃,校准过程中室温变化不超过±1℃,环境相对湿度不大于80%。校准设备周围应无明显的温差、气流和强电磁场等外部干扰。环境温度要控制在23℃附近,因为标准漏孔的出厂标称漏率对应的环境温度一般为23℃。二、标准器的选择,标准器采用渗氦型标准漏孔,漏率标称值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不确定度不大于10%。精密玻璃温度计,测量范围(0~50)℃,不确定度U=0.04℃,k=2。
检漏仪是怎样检漏的呢? 氦气检漏就是利用了氦气分子小能够轻易进入那些不被肉眼察觉的孔缝中,利用监测仪器就能探测到孔缝中泄露出的氦气。检测时首先探测到氦气的露数,得到氦气的水含量,再利用色谱仪计算出氢气、氧气、C02气体等杂质。氦检漏常见的有六种氦检方法:1. 喷氦/喷口法;真空测漏法是业内经常使用的一种检漏方法, 普遍应用于精密仪器, 真空钎焊, 压力容器等行业;2. 吸口法/正压法;氦质谱检漏正压吸口法主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏,如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。3. 真空累积测漏法;4. 背压法;背压法氦质谱检测优点:检测灵敏度高;可以进行批量化检测;5. 真空累积法;6. 常压吸口累积法:常压吸口累积法普遍应用于航空航天领域;氦质谱检漏仪有哪些保养要求呢?
检漏仪的本底漏率值是什么?底值是指由所处环境所形成的较稳定的辐射水平或声量,由于氦气在空气中的体积含量约为5ppm,5.24×10-6,也就是百万分之五左右,这说明正常空气环境中氦气的含量很小,即氦本底很好。这也是用氦气作为示踪气体的重要原因之一。只有在空气中含量尽可能少的气体,才能满足检漏灵敏度方面的要求。在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小. 正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来。本地高一般都是泄漏的原因,建议检查阀有没有内漏,试试增加清扫气体的压力,但是也不能过高,因为会影响抽空效率。另外检漏时切勿将大量的氦气通进仪器,避免本底太大,难以清理。在选购氦质谱检漏仪时必须要注意这种仪器自身的能力和消费的需求。北京检漏仪大概价格多少
检漏仪系统对密封容器的使用性能有什么帮助?北京检漏仪大概价格多少
氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气,氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点,达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解,了解有哪些漏源,才能快,准,狠的完成检漏。需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养,以及电磁阀组的超声清洗,此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护,避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。北京检漏仪大概价格多少
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