用于降低来自激光源的斑点噪声的方法1100开始于操作1102，在操作1102从***多个vcsel结构发射辐射。辐射可以包括可见光或红外辐射。辐射可以具有大约935nm到大约945nm之间的峰值波长，深圳菲涅尔透镜 作用。根据实施例，***多个vcsel结构中的每个vcsel结构具有相同的孔径宽度，使得从***多个vcsel结构发射的辐射在对物体进行照射时产生***斑点图案。从***多个vcsel结构发射的辐射包括部分地取决于孔径宽度的***数目的横向模式。接着，在操作1104，从第二多个vcsel结构发射辐射。第二多个vcsel结构可以被布置在与***多个vcsel结构相同的衬底上。辐射可以包括可见光或红外辐射。辐射可以具有大约935nm到大约945nm之间的峰值波长。根据实施例，第二多个vcsel结构中的每个vcsel结构具有不同于***多个vcsel结构的孔径宽度的相同孔径宽度，使得从第二多个vcsel结构发射的辐射在对物体进行照射时产生第二斑点图案。从第二多个vcsel结构发射的辐射包括部分地取决于孔径宽度第二数目的横向模式。第二数目的横向模式不同于***数目的横向模式，深圳菲涅尔透镜 作用。例如，深圳菲涅尔透镜 作用，从***多个vcsel结构发射的辐射包括两个或更多个横向模式，而从具有较小孔径宽度的第二多个vcsel结构发射的辐射*包括单个横向模式。菲涅尔透镜厚度检测技术。深圳菲涅尔透镜 作用

并且可以在z方向上具有大约500μm到2mm之间的任意厚度。于在***多个vcsel402和第二多个vcsel404内可以存在任意数目的vcsel结构。应该注意的是，所示出的尺寸不是按比例画出的，*出于清楚的目的而提供的。例如，衬底302被示出为具有类似于vcsel402或404中的每个vcsel的厚度的厚度(z轴方向上的尺寸)。但是，衬底302可以比其他层更厚，例如，具有50μm到950μm的厚度或者任何其他适当厚度，如根据本公开将明白的。根据实施例，***多个vcsel402中的每个vcsel的孔径宽度(d1，类似于直径)不同于第二多个vcsel404中的每个vcsel的孔径宽度(d2)。通过改变孔径宽度，横向激光模式的数目也随着主导的横向激光模式的峰值波长一起改变。换言之，具有相同孔径宽度的每组vcsel产生它们自己的斑点图案，因为斑点图案取决于照明光的波长。在图4所示的示例中，***多个vcsel402将产生***斑点图案，而第二多个vcsel404将产生不同的第二斑点图案。斑点减少基于对检测器的空间和时间分辨率内的n个**斑点配置进行平均。例如，在所有n个**斑点配置具有相等的平均强度的情况下，斑点噪声被减少因子由于斑点图案取决于照明光的波长，所以在由该表面创建的平均相对相移≥2π的情况下。深圳菲涅尔透镜购买菲涅尔透镜制取检测技术。

tio2)之类的其他材料包括使得它们更适用于操纵光学波振面的更高的折射率，但是这种材料对以5:1至10:1之间的更高纵横比进行制造提出了挑战。下面的表2提供了不同材料的概况，包括它们的折射率、比较大效率的厚度、比较大散射效率、以及可见范围中的光吸收。比较大散射效率是通过使用周期性透射sws作为将垂直入射的平面波偏转到特定衍射级的模型系统计算得出的。从表2可以看出，诸如硅和锗之类的材料具有极好的散射效率和高反射率。但是，这些材料还会由于它们的小带隙而吸收可见范围中的光(并且还将部分地吸收近红外波长)。诸如氧化硅和氧化铝之类的材料在可见范围中几乎是透明的，但是具有较低的散射效率，因此限制了它们作为sws材料候选的有用性。诸如氮化硅和氧化钛之类的材料提供了散射效率和低光吸收率的良好混合。根据实施例，在实现对于**造成本至关重要的高制造吞吐量的同时，制造在可见和/或红外范围中将高光约束和低光吸收结合在一起的新型sws设计(这里称为“元原子(metaatom)”)。图8示出了根据实施例的具有圆柱形状的示例元原子800，其中，芯材804被薄壳材806围绕。元原子800被制造在vcsel结构的顶层802上。顶层802可以是vcsel结构的发出光的任意层。

由于激光斑点的出现从一开始(实际上在图像捕捉时，通过激光源设计)就被管理或以其他方式减少，所以也消除或以其他方式降低了对于捕捉图像上的基于斑点的后处理的需求。根据实施例，用在结构化光投影仪中的激光源包括衬底、布置在衬底上的一个或多个***vcsel、以及布置在衬底上的一个或多个第二vcsel。一个或多个***vcsel各自具有***孔径宽度，并且各自单独地在衬底的表面上延伸。一个或多个第二vcsel各自具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度，并且各自单独地在衬底的表面上延伸。使用具有不同孔径宽度的vcsel的阵列提供了具有不同波长的发射辐射，从而提供了不同的斑点图案。当在检测器上被接收时不同的斑点图案被平均，此时斑点噪声被减少或基本消除。从各种vcsel结构发射的光可以被调制，以在物体上形式特定图案(网格、点阵等)。调制可以包括创建相长干涉和相消干涉的区域，以有效地将光输出“图案化”为任何期望的图案。可以使用各种技术对光进行调制，这些技术包括诸如透镜和衍射元件之类的光学组件的结合。但是，本文描述的实施例将包括两种或更多材料的亚波长结构(sws)直接集成到vcsel结构上以操控光输出。菲涅尔透镜聚光原理技术指导。

d4)的多个vcsel的第四区域608。孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以彼此相差相同的数量。例如，孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以相差500nm、1μm、2μm、或3μm。在另一示例中，孔径宽度d1-d4可以是给定范围(例如，1μm到10μm)内的任意值。在所示出的具有不同孔径宽度的vcsel阵列的四个区域的示例中(产生四个不同的斑点图案)，总斑点噪声降低大约50％尽管图6示出了*四个区域，但是衬底302的表面上可包括分别具有给定孔径宽度的vcsel阵列的任意数目的区域。另外，每个区域可以具有任何形状或大小。在一些实施例中，任意区域可以部分或完全地与任何其他区域重叠。亚波长结构集成与几何光学相比，亚波长结构(sws)提供了在更小的尺度上实现几乎平坦的无相差光学的可能。sws可以由操纵光的波阵面、极化、或强度的亚波长散射器阵列构成。像大多数基于衍射的光学设备一样，sws通常被设计为比较好在一个波长或窄波长范围内操作。sws的一个示例包括电介质传输阵列，该电介质传输阵列提供偏振和相位的亚波长空间控制和高发射。这些设备基于制造在平面衬底上的具有不同几何形状的高折射率介电纳米谐振器(散射器)的亚波长阵列。具有各种几何形状的散射器向所发送的光赋予不同的相位。球面菲涅尔透镜常见问题有哪些？深圳线性菲涅尔透镜

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第二波长比***波长短，第二数目的横向模式比***数目的横向模式少。示例20包括示例19中任一项的主题，其中，第二数目的横向模式*包括单个横向模式。示例21包括示例17至20中任一项的主题，进一步包括将斑点噪声降低大约50％。示例22包括示例17至21中任一项的主题，进一步包括从布置在衬底上的一个或多个第三vcsel结构发射具有第三波长的辐射，第三波长不同于***波长和第二波长。示例23是一种激光源。该激光源包括衬底、vcsel结构、以及多个亚波长结构。vcsel结构在衬底的表面上并且在衬底的表面上延伸。多个亚波长结构在vcsel结构的顶层上。多个亚波长结构中的一个或多个亚波长结构包括芯材和在该芯材的一个或多个表面上的壳材。示例24包括示例23的主题，其中，多个亚波长结构包括圆柱状结构。示例25包括示例24的主题，其中，每个亚波长结构具有λ/10到λ/5之间的直径，其中，λ是该vcsel结构的峰值输出波长。示例26包括示例23至25中任一项的主题，其中，壳材具有比芯材高的折射率。示例27包括示例26的主题，其中，壳材包括氧化钛，并且芯材包括氮化硅。示例28包括示例23至27中任一项的主题，其中，壳材*在芯材的侧壁上。示例29包括示例23至28中任一项的主题，其中。深圳菲涅尔透镜 作用

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