激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生怀疑。***我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

1、 阿贝误差：测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰，江苏平面平晶检测激光干涉仪概念，江苏平面平晶检测激光干涉仪概念、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，江苏平面平晶检测激光干涉仪概念，引起的阿贝误差越大。 激光干涉仪：数字化动态分析。江苏平面平晶检测激光干涉仪概念

为什么要用双频激光干涉仪？单频激光干涉仪是一种直流测量系统，存在较大的零漂；同时由于空气湍流，机床油雾，切削屑等会使光束发生偏移或波面扭曲，导致激光束强度发生变化，就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数。双频激光干涉仪的信号时交流信号，因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等，也可以在普通车间内为大型机床的刻度进行标定。江苏金属平面激光干涉仪LED工业（蓝宝石衬底检测），数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。

激光干涉仪单频激光干涉仪 从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。 

单频激光干涉仪的工作原理：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路：一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。 激光干涉仪测试项目：平行度。

无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用国内外**的组合式激光干涉仪作为**部件，主要用于高效检测高精度平面，该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际前列水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的***测量精度PV和***测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、**、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。应用领域：高精度精密机械（平面元件检测）。江苏大口径激光干涉仪价位

通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。江苏平面平晶检测激光干涉仪概念

测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪有几个概念的定义比较混乱（特别是有些研究发展趋势的报告），需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定，资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器，一种是测量面型（元件表面）的激光干涉仪，一种是测量位移（长度）的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲，利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离，完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移（长度）的干涉仪都是利用光干涉现象，但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。江苏平面平晶检测激光干涉仪概念

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