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根据权利要求1至3中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，进一步含有α-羟基羧酸和/ 或α-羟基羧酸的盐。 根据权利要求4所述的蚀刻液，其特征在于，所述α-羟基羧酸为选自由酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸所组成的群组中的至少一种。 根据权利要求1至5中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述酸的浓度为20重量％至70重量％；所述有机硫化合物的浓度为0.01重量％至10重量％。 根据权利要求4至6中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，所述α-羟基羧酸和/或α-羟基羧酸的盐的浓度为0.2重量％至5重量％。

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    离子膜电解法是电解槽30阳极可以为石墨板或钛阳极板，阴极为钛板，用离子膜将阳极液和阴极液隔离开，阳极为需要再生的蚀刻母液，阴极为铜离子20~100g/l，酸度，电解槽30由数个单元电解槽串联组成，单元电解槽30由一个或者数个阳极模框组成，酸性蚀刻废液经循环槽20阳极循环区229进入电解阳极区301，溢流回循环槽20蚀刻循环区230。调整好循环槽20的阴极循环区231的开槽铜离子浓度20~100g/l，经电解槽30阴极然后溢流回循环槽20阴极循环区231完成正常循环，电解过程中阴极钛板生成金属铜，一定时间后铜可以剥离下来，剩下的废水成为再生液，再生液因电解使铜离子浓度越来越低，酸度上升，同时比重下降时，通过比重自动添加器添加母液来提高再生液铜离子的浓度。当循环槽20阳极循环区229铜离子因蚀刻线生产使铜离子升高，比重上升时，通过比重自动添加器添加再生液，完成盐酸添加。电流由orp检测自动控制器控制，orp一般控制在300~600mv，其电流密度相应控制在0~9000ma/dm2。当orp偏低时orp检测自动控制器自动上调电流，使蚀刻液废液中的cu+离子通过阳极氧化重新转变为cu2+离子而恢复其蚀刻能力，当orp偏高时orp检测器自动降低电流防止氯气的产生。BOE蚀刻液请认准苏州博洋化学。上海专业BOE蚀刻液

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一种蚀刻液，其特征在于，用来在铜的存在下选择性地蚀刻钛，并且含有：选自由硫酸、盐酸及三氯乙酸所组成的群组中的至少一种酸；以及选自由硫酮系化合物及硫醚系化合物所组成的群组中的至少一种有机硫化合物。 根据要求所述硫酮系化合物为选自由硫脲、二乙基硫脲及三甲基硫脲所组成的群组中的至少一种。硫醚系化合物为选自由甲硫氨酸、乙硫氨酸及3-(甲硫基)丙酸所组成的群组中的至少一种。进一步含有α-羟基羧酸和/ 或α-羟基羧酸的盐。所述α-羟基羧酸为选自由酒石酸、苹果酸、柠檬酸、乳酸及甘油酸所组成的群组中的至少一种。酸的浓度为20重量％至70重量％；所述有机硫化合物的浓度为0.01重量％至10重量％。α-羟基羧酸和/或α-羟基羧酸的盐的浓度为0.2重量％至5重量％。在铜的存在下选择性地蚀刻钛。安徽应用BOE蚀刻液商家

苏州博洋化学股份有限公司成立于1999年，公司座落于苏州市高新区化工工业园，是一家集研发、生产、销售为一体的大型精细化工企业，主要为先进半导体封装测试、TFT、FPD平板显示、LED、晶体硅太阳能、PCB等行业提供专业的化学品解决方案。努力构建面向未来的创新型和学习型企业。博洋股份于2015年11月在全国中小企业股份转让系统成功挂牌。（证券代码：834329）拥有先进的理化分析、应用测试仪器以及一支以本科、硕士、博士为主的多层次研发团队，致力于超净高纯、功能性微电子化学品的研究开发;并根据客户的个性化需求量身定制整套化学品解决方案，力求持续的为客户创造价值。博洋除拥有完善的自主研发能力外，与华东理工大学共同建立省级研究生工作站;长期保持与苏州大学、中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所的合作关系，以辅助新产品的开发测试。对新技术、新工艺的研究精益求精，立志成为微电子材料领域个性化解决方案的***

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