氦质谱检漏仪可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。此检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小重量轻并且有渗透能力强的优点，达到了细检漏的目的。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的，四川检漏仪多少钱。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解，了解有哪些漏源，才能快，四川检漏仪多少钱，准，狠的完成检漏，四川检漏仪多少钱。需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养，以及电磁阀组的超声清洗，此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护，避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。检漏仪系统对密封容器的使用性能有什么帮助？四川检漏仪多少钱
如何延长氦质谱检漏仪的使用寿命？1、定期对氦质谱检漏仪进行清洗、保养，这也是为了避免氦质谱检漏仪发生故障。2、氦质谱检漏仪上勿放置物品或挂置物品，装好的氦质谱检漏仪不能任意移动装置的位置。3、对于有试验按钮的可燃气体检测仪，每周应按动一次试验按钮，检查报警系统是否正常。4、氦质谱检漏仪及接线端子不要放置在易遭受碰撞或易进水处，避免造成电器线路断路或短路。6、氦质谱检漏仪应尽量在气体浓度低于标准下限的条件下使用，否则，有可能烧坏元件。四川检漏仪多少钱检漏仪待机时电离室真空度保持在≤3x10-2Pa，灯丝不易被氧化脆断。
检漏仪质谱室故障及处理：1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。检漏仪检测开始时出现的故障：1、检漏键无效(绿色指示灯亮)，检查灯丝是否启动。如果灯丝没有启动或者灯丝断，按检漏键将没有反应。2、检漏键无效(指示灯不亮)，I/O短接插头未插入检漏仪故障后面插座。如果I/O短接插头未插入仪器后面插座，这时检漏仪将接受I/O口输入信号，而不接受遥控器信号，检漏键无效。
检漏仪的整体结构:一、质谱室,形象的说，质谱室是检漏仪的心脏，由离子源、分析器和电气系统三个部分组成，并将冷阴极磁控规也放在其内，共用其磁场。为了有利于微小的粒子流放大，将一级放大用高阻及静电计管也放在质谱室之内。质谱室壳由非磁性材料制成，内部抽空，而外部设置成磁铁形成磁分析器的磁场。二、真空系统,真空系统是提供质谱室正常工作的条件。由于钨阴极正常工作时需要具备0.001-0.01Pa的真空度，同时保证氦离子在分析器中的运动有较高的传输率，因此建立一个高真空系统是必要的。系统中的节能阀则是为了满足质谱室工作压力的调节，该阀全开时检漏灵敏度较高，因此在条件允许情况下开启大些为宜。检漏时为了校准检漏灵敏度，系统中设置了标准漏孔。氦质谱检漏仪的选择要进行多家的货物进行对比。
氦质谱检漏仪检漏标准：1）真空法氦质谱检漏。真空法氦质谱检漏标准主要有QJ3123-2000《氦质谱真空检漏方法》、GB/T15823-2009《氦泄漏检验》，主要应用于真空密封性能要求，但不带压工作的产品，如空间活动部件、液氢槽车、环境模拟设备等。2）正压法氦质谱检漏。正压法氦质谱检漏标准主要有QJ3089-1999《氦质谱正压检漏方法》、QJ2862-1996《压力容器焊缝氦质谱盒检漏试验方法》，主要应用于大容积高压密闭容器产品的检漏，如高压氦气瓶、舱门检漏仪等。对于不同的目的，可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。无锡检漏仪多少钱
影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。四川检漏仪多少钱
检漏仪漏率校准方法：漏率校准，①校准系统的组成校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氢质谱检漏仪组成。②示值误差通电预热,待复检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对复质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入检漏仪系统，运行检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入检漏仪系统进行测试，得到检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。如果测试结果有较大偏差，可以考虑检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。四川检漏仪多少钱
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