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JSK真空发生器

信息介绍 / Information introduction

  产品简介:

  应用行业:半导体、太阳能、液晶面板制造等行业,或者其他一些有超高纯流体要求的行业.

  应用流体:特气二次配管系统,设备和机台里面的超高纯气体、易燃易爆气体以及有毒气体等特种电子气体.

  比较高工作压力:60-80PSI

  比较大流量:对于氮气,在压力为80PSIG的条件下,比较大流量2.7 scfm

  最高工作温度:121℃

  膜片密封和CTFE阀座致使在氦检的时候比较大泄漏率也只达到1x 10 scc/s.

  内侧和阀座旁边均经过了100%氦检.

  连接尺寸:3/8" 1/2"

  在10级洁净厂房吹扫并**终包装.

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