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杭州模块式检漏仪报价 服务为先 上海妤林真空设备供应

信息介绍 / Information introduction

氦质谱检漏仪的保养要做到以下几点:1、严禁使用氦质谱检漏仪检测未知浓度环境的气体,以免长久性损坏传感器。2,杭州模块式检漏仪报价、对于未做防尘处理的氦质谱检漏仪,勿在粉尘浓度过高的环境中使用仪器。3、氦质谱检漏仪不慎进水,杭州模块式检漏仪报价,请勿开启仪器,拆开外壳,及时处理仪器上水珠,并置于通风处48小时,并退回生产厂商重新检验校准,杭州模块式检漏仪报价。4、经常检查氦质谱检漏仪进气孔是否有泄漏及堵塞现象,保持进气孔的畅通。5、保持氦质谱检漏仪的干燥,严禁接触水,并避免直接接触腐蚀性液体。6、严禁在高温的环境中使用氦质谱检漏仪,高温使用仪器,很可能会长久性的损坏传感器。请参阅仪器的温度使用范围。使用中尽量将预置真空开关空挡可以有效延长检漏仪的灯丝寿命。杭州模块式检漏仪报价

检漏仪为什么选择氦气作为示踪气体?1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度。浙江国产检漏仪生产厂家检漏仪分子泵故障如何维修?

检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声,目前设备电子线路和电子元件的改进,使得电路噪声已经降得很低,因此检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的,主要形成的原因包括:一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气,而电离规,特别是磁放电真空规对氦有记忆效应,其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。

检漏仪漏率校准方法:漏率校准,①校准系统的组成校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氢质谱检漏仪组成。②示值误差通电预热,待复检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对复质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入检漏仪系统,运行检漏仪,待漏率示值稳定后,可以读出标准漏孔漏率的检漏仪示值,同一标准漏孔测量三次,计算检漏仪示值平均值,从而得到标准漏孔漏率与检漏仪示值平均值的示值误差。结束后,将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入检漏仪系统进行测试,得到检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。如果测试结果有较大偏差,可以考虑检漏仪的自校功能,待完成后,再用标准漏孔进行测试。放置好氦质谱检漏仪,以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。

为什么要使用氦质谱检漏仪进行检漏?很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力作用时,流进或流出这个空间,如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。检漏仪检漏时切勿将大量的氦气通进仪器,避免本底太大,难以清理。杭州模块式检漏仪报价

氦质谱检漏仪应安装在符合仪器使用的环境要求的场所。杭州模块式检漏仪报价

检漏仪的应用特点:(1)便携式:各国推出的小型便携式检漏仪不但灵敏度高,而且便于携带,给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。(2)高压强下检漏:检漏口压强可高达数百帕左右,对检测大系统和有大漏的工件很有益。(3)自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。(4)全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。(5)检漏范围宽:现今生产的四极检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。分子泵排气系统取代扩散泵排气系统,不但解决了油蒸气对质谱室的污染问题,而且对快速启动仪器和快速停机做出了很大贡献。为适应检漏口压强的变化和对灵敏度要求的不同,分子泵一般采用多级构造和几种不同的转速。杭州模块式检漏仪报价

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