由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务。泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面：1.主泵，就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。2.粗抽泵，是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。3.前级泵，是指用于使另一个泵的前级压强维持在其比较高许可的前级压强以下的真空泵，福建螺杆式真空泵怎么选。4.维持泵，是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。5.粗真空泵或低真空泵，福建螺杆式真空泵怎么选，粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵，福建螺杆式真空泵怎么选。6.高真空泵，是指在高真空范围工作的真空泵。7.超高真空泵，是指在超高真空范围工作的真空泵。8.增压泵，通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。一个典型的半导体工厂里就需要3种真空，需要不同的真空泵，对于工艺真空应用，油封螺杆真空泵是适用的。福建螺杆式真空泵怎么选

昊青气体装备的EVS油封螺杆式真空泵，将强大的油封螺杆技术与昊青气体装备先进的螺杆设计相结合。首先它能创造安静的现场真空。油封式螺杆系统采用低噪音的真空技术，其两个螺杆组件低速旋转，这样EVS便可以在低声级上运行。这种静音式运行，允许您将EVS安装在使用点的附近。同时，该机型性能可靠。可靠性是EVS真空系统的一个关键特征。所采用的技术没有接触，所以也无磨损。作为一项附加优点，油封技术带来强大的无故障运行。除了这项先进的技术之外，EVS还配备了可靠的特大号电机，和专业的油气分离系统。前列的凝聚过滤器减少了环境中的油雾量，从而减少额外的加油量，降低运行温度和发动机的功耗。EVS油封螺杆式真空泵拥有更好的效率，由于每千瓦输入均能有更好的性能输出，EVS在其工作压力范围上的表现超过所有其他的真空技术。并且能按照需求配置能力：模块化阀门直接安装到泵的进口上。同时还能即插即用型安装。结构上，它设计紧凑，节省空间。由于需要更少的维护，正常运行时间更长。陕西油封螺杆式真空泵报价在油封真空泵（包括螺杆式、旋片式真空泵等）之后，通常都要设计油/气分离系统。

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有害的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意的几个安全事项：1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免超压。半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。2、有效稀释有害气体的浓度。半导体易产生前面所说的易燃易爆、有害的有害气体，因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。3、注意氧气的浓度。空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及易爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高。4、防止温度过高。半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易燃易爆及有害气体就会容易发生危险。

据昊青气体装备的研发人员介绍，螺杆式真空泵不仅适应性普遍，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，使用的更加普遍必是未来的趋势。真空泵从原始的水泵开始发展成为现有的机械泵、扩散泵、分子泵、低温泵、离子戮射泵、升华泵等数十种。

螺杆式真空泵不只适应性普遍，可以在恶劣条件下抽气，同时可以达到较高真空度（0.1～1Pa）。因此，随着半导体、石化行业的快速发展，螺杆式真空泵作为一种理想真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域，如半导体行业的气相沉积、蚀刻，医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵，但从长远来说，其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率，能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益，使用的更加普遍性必是未来的趋势。真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。山东油封螺杆式真空泵系统

真空泵的选型原则是，所选真空泵的性能应满足工艺流程设计要求。福建螺杆式真空泵怎么选

真空定制进气过滤器，配有预滤设计，高容尘量，过滤效率达99%@5micro，充分保障主机的安全运行。低压降，提升真空泵整机效率。聚酯纤维材质具有防潮的优点，适用于湿真空应用。为油封螺杆真空泵专门研发的进气控制阀，自动控制阀门开度，以保障主机的低真空度，确保润滑油的循环。低节流损失，有助于真空泵整体效率的提升。如遇失电或突然停机，进气阀会自动迅速关闭，防止呕油。针对真空应用特殊设计的低压降冷却器、润滑油过滤系统及温控阀，具有充分的冗余，保障设备合适的工作温度，并能很好的控制油路系统的压降。低噪风机，不光风噪低，合理的空气流场设计也能很好地控制机箱温度。降噪隔音罩及减震基础，有效阻隔噪音的传播，降低了设备的噪音水平，为客户提供良好的生产环境。针对真空应用完全重新设计的油气分离器，预分离结构优化后，使得油气混合物在进入油分芯之前已经分离掉大部分的润滑油。油分芯的聚合分离负荷得到缓解，分离效果更佳，排气含油量控制在3ppm及以下，有效地保护了大气环境。低油分芯背压，降低了电机的轴功，更有效地提升了整机效率。福建螺杆式真空泵怎么选

昊青气体装备技术（江苏）有限公司一直专注于真空设备及配件、鼓风机、压缩机、流体设备及配件、自动化设备及配件、智能设备及配件的研发、设计、制造、销售、安装、租赁及技术咨询；合同能源管理；节能科技领域内的技术开发、技术转让、技术咨询、技术服务；货物及技术的进出口业务。，是一家机械及行业设备的企业，拥有自己**的技术体系。目前我公司在职员工以90后为主，是一个有活力有能力有创新精神的团队。公司以诚信为本，业务领域涵盖真空泵，鼓风机，压缩机，我们本着对客户负责，对员工负责，更是对公司发展负责的态度，争取做到让每位客户满意。公司力求给客户提供全数良好服务，我们相信诚实正直、开拓进取地为公司发展做正确的事情，将为公司和个人带来共同的利益和进步。经过几年的发展，已成为真空泵，鼓风机，压缩机行业出名企业。

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