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福建永磁螺杆真空泵定制 欢迎咨询 昊青气体装备技术供应

信息介绍 / Information introduction

当抽吸腐蚀性过程气体时,存在气体可能破坏泵部件的风险,福建永磁螺杆真空泵定制。为了避免这个危险,敏感部件必须用连续的惰性气体流保护起来。因此,泵体内装有特殊的进气系统,凭借该系统,气体在规定的位置流入泵系统。在涡轮分子泵中,福建永磁螺杆真空泵定制,福建永磁螺杆真空泵定制,主要是轴承和电机舱需要保护。在电机舱中吸入密封气体能够避免侵蚀性气体与润滑剂或轴承中的腐蚀敏感成分发生化学反应以及防止灰尘和粒子进入润滑剂存储罐、与润滑剂混合。使用密封气体可以保护电机及防止粒子进入和导致轴与紧急轴承接触,也建议免润滑的涡轮分子泵使用除轴承密封气体外,具有过程能力的干式前级泵也具有净化气体注入流程泵的各个抽吸阶段。过程有关的净化气体流量使用校准喷头上游的压力调节器或流量调节器(质量流量控制器或MFC)进行调节,以及通过压力传感器和开关进行监控。正确选型直接关系到真空泵能否达到系统设计要求、可靠性和使用寿命、购置成本和寿命周期内总成本等。福建永磁螺杆真空泵定制

真空泵的选择及抽速计算。(1)计算真空泵的有效抽速S(L/s)。根据真空系统要求的工作压力pg、真空系统的总气体量Q,计算泵的有效抽速。S=Q/pg。式中,Q为真空系统的总气体量,Pa.L/s,包括真空系统工作过程中产生的气体量、真空系统及真空元件的放气量和真空系统的总漏气量。通常将按此式计算出的有效抽速S增大20%~30%或更大作为主泵的名义抽速。(2)确定真空泵的抽速。根据有效抽速S以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp。由流导串联公式有1/S=1/Sp+1/U。(3)根据被抽气体种类、成分、温度以及气体含灰尘杂质情况选真空泵。(4)根据真空室对油污染要求的不同,来选择有油、无油、半无油、干式、湿式真空泵。干式真空泵适合于要求无油或工作液、或对工作液储存和处理费用比较关切等场合。(5)根据投资及日常维护运转的经济指标来选择。山西油封真空泵怎么选在电子半导体、制药、石化等一些对清洁真空环境要求严格、气体成分复杂的行业领域,螺杆式真空泵备受青睐。

真空泵可分为气体输送泵和气体粘合或捕集泵。气体容积式真空泵可以没有限制地使用,而气体粘合真空泵具有有限的气体吸收能力,并且必须在一定的过程相关间隔进行再生。气体容积式泵,也被称为气体输送泵,被分类为往复容积式泵或动能真空泵。容积泵将密封区域的气体置换到大气或下游泵级中。动能泵通过机械驱动系统或通过在抽吸部分结束时冷凝的引导蒸汽流在抽吸方向对气体进行加速来置换气体。气体粘合真空泵通过吸气或在合适温度冷凝气体的方式将气体粘合到特别的活性衬底上。化学吸附是通过被称为吸气泵的泵类型在技术上进行的,该吸附泵通过蒸发和/或升华或溅射不断地产生纯净的吸气面。如果要结合的气体粒子在与吸气面进行相互作用之前在离子吸气泵中被电离了,则它们可通过溅射清洁吸气面的同时被溅射的材料掩盖。非蒸散型吸气剂(NEG)包括反应性高的合金,其主要由锆或钛组成,并且具有非常大的比表面积。气体可以通过微孔渗透到吸气材料的深层里,并在那里结合成稳定的化合物。

据昊青气体装备的研发人员介绍,螺杆式真空泵不仅适应性普遍,可以在恶劣条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1Pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵也开始普遍应用于电子半导体、医药化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,医药化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。虽然由于型线技术以及加工上的成本导致螺杆式真空泵购置费用较为昂贵,但从长远来说,其宽适应、高效节能环保的特性以及低故障维修率,能在运行周期内给企业带来更高的综合效益与社会环境效益,使用的更加普遍必是未来的趋势。螺杆式真空泵是容积式真空泵中的新兴成员,出现于上世纪90年代前后,发展较晚,但在面世后获得了快速发展。

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正确地选择真空泵的工作点,每种真空泵都有一定的工作压强范围,真空泵的工作点应该选在这个范围之内。福建永磁螺杆真空泵定制

通常情况下,真空泵可以按性能特点和用途分类。第一种是低真空泵。泵的极限压力高于102Pa的真空泵属于低真空泵。常见的低真空泵有往复式真空泵、旋转式真空泵、液环式真空泵、喷射式真空泵以及吸附式真空泵。其次是中真空泵。极限压力在102~-10-1Pa的真空泵属于中真空泵。常见的有罗茨真空泵、多级喷射式真空泵、多级旋转机械真空泵以及高速旋转式机械真空泵等。第三种是高真空泵。极限压力在10-1~10-5Pa的真空泵属于高真空泵。常见的高真空泵有各种扩散泵及分子泵等。还有一种是超高真空泵。极限压力低于10-5Pa的真空泵属于超高真空泵。超高真空泵主要有各种离子泵、低温泵等。福建永磁螺杆真空泵定制

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