激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。 激光具有**度、高度方向性、空间同调性，江苏陶瓷平面激光干涉仪能耗制动、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以 迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种 折射镜、 反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度，江苏陶瓷平面激光干涉仪能耗制动、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作，江苏陶瓷平面激光干涉仪能耗制动。 英文名称：laser interferometer（激光干涉仪） 激光干涉仪分类 激光干涉仪有单频的和双频的两种。激光干涉仪测试项目：光学材质均匀性。江苏陶瓷平面激光干涉仪能耗制动

激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生怀疑。***我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

1、 阿贝误差：测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。 江苏光学均匀性激光干涉仪销售公司材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等，内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。

激光干涉仪小科普：经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。

单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自从发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。

激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作 激光干涉仪精密度：λ/65 PV.江苏陶瓷平面激光干涉仪能耗制动

通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。江苏陶瓷平面激光干涉仪能耗制动

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