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上海光电激光干涉仪 上海岱珂机电设备供应

信息介绍 / Information introduction

在物理学家关于气体或其他有重物体所形成的理论观念同麦克斯韦关于所谓空虚空间中的电磁过程的理论之间,有着深刻的形式上的分歧。这就是,我们认为一个物体的状态是由数目很大但还是有限个数的原子和电子的坐标和速度来完全确定的;与此相反,为了确定一个空间的电磁状态,我们就需要用连续的空间函数,因此,为了完全确定一个空间的电磁状态,就不能认为有限个数的物理量就足够了。按照麦克斯韦的理论,对于一切纯电磁现象因而也对于光来说,应当把能量看作是连续的空间函数,而按照物理学家的看法,一个有重客体的能量,则应当用其中原子和电子所带能量的总和来表示。一个有重物体的能量不可能分成任意多个、任意小的部分,上海光电激光干涉仪,而按照光的麦克斯韦理论(或者更一般地说,按照任何波动理论),上海光电激光干涉仪,上海光电激光干涉仪,从一个点光源发射出来的光束的能量,则是在一个不断增大的体积中连续地分布的。100pm/步的线性偏移被确定。上海光电激光干涉仪

从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。上海激光干涉仪彩色共焦技术紧凑,适用于设备集成。

干涉仪主要特点

1.同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角2.设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器3.可选的无线遥控传感器极长的控制距离可到25米4.可测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性5.全套系统重量只15公斤,设计紧凑、体积小,测量机床时不需三角架6.集成干涉镜与激光器于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间7、激光干涉仪可以同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角等,以及测量速度、加速度、振动等参数,并评估机床动态特性等。8、激光干涉仪的光源——激光,具有gao qiang度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。9、激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来使用。

高精度。目前半导体工艺的典型线宽为0.25μm,并正向0.18μm过渡,2009年的预测线宽是0.07μm。如果定位要求占线宽的1/3,那么就要求10nm量级的精度,而且晶片尺寸还在增大,达到300mm。这就意味着测量定位系统的精度要优于3×10的-8次方,相应的激光稳频精度应该是10的-9次方数量级。

高速度。目前加工机械的速度已经提高到1m/sec以上,上世纪80年代以前开发研制的仪器已不适应市场的需求。例如惠普公司的干涉仪市场大部分被英国Renishaw所占领,其原因是后者的速度达到了1m/sec。 易于集成(只Ø1.2mm,重量只几克)。

不同变比电流互感器。这种型号的电流互感器具有同一个铁心和一次绕组,而二次绕组则分为两个匝数不同、各自独自的绕组,以满足同一负荷电流情况下不同变比、不同准确度等级的需要,例如在同一负荷情况下,为了保证电能计量准确,要求变比较小一些(以满足负荷电流在一次额定值的2/3左右),准确度等级高一些(如1K1.1K2为200/5.0.2级);而用电设备的继电保护,考虑到故障电流的保护系数较大,则要求变比较大一些,准确度等级可以稍低一点(如2K1.2K2为300/5.1级)。传感器头适用于极端环境:  低温和高温(比较高450°C),UHV兼容性,  强辐射(高达10MGy)和高磁场。上海激光干涉仪彩色共焦技术

轴的直径为10毫米,以每分钟2160转(RPM)旋转。上海光电激光干涉仪

微型电流互感器称之为“仪用电流互感器”。(“仪用电流互感器”有一层含义是在实验室使用的多电流比精密电流互感器,一般用于扩大仪表量程。)电流互感器原理线路图微型电流互感器与变压器类似也是根据电磁感应原理工作,变压器变换的是电压而微型电流互感器变换的是电流罢了。绕组N1接被测电流,称为一次绕组(或原边绕组、初级绕组);绕组N2接测量仪表,称为二次绕组(或副边绕组、次级绕组)。根据不同的需要,组合式电流电压互感器分为V/V接线和Y/Y接线两种,以计量三相负荷平衡或不平衡时的电能。上海光电激光干涉仪

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