激光干涉仪激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，此误差被称为余弦误差。

死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力，苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，从而增大测量误差。 应用领域：半导体工业（晶片检测）。苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能

由于激光具有极好的时间相干性，其相干距离可以达到数公里，所以自激光问世以来，以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注，其应用范围不断扩展，激光干涉仪技术也不断发展，出现了各种形式的激光干涉仪。尽管存在各种形式的激光干涉仪，但从原理上讲，可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machelson干涉仪系统，图1为单频激光干涉仪原理示意图，分光镜BS将激光分为2束，一束射向定镜R，另一束射向动镜M，当动镜M移动时，经R和M的反射光在O处汇合产生干涉，由于分光镜金属膜的附加相移性质，光电探测器D1、D2接受的信号相位差为90°，用于计数器的方向辨别。苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能激光干涉仪测试项目：球面测量。

基本上，激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8nm波长的光，橙红灿烂的光束射向远方，发散角可以小到0.1mrad，光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光，但只有632.8nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。其它类型的激光器，如半导体（LD）、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器，研究人员多有尝试，但都没有成功。激光干涉仪有很多应用，但本质都是测量中学课本讲的“位移”，诸多应用都是“位移”的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型：单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。

激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏转（角）、俯仰（角）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。航空航天成像系统检测，超精密机械件检测，科研和高等教学仪器等众多领域。

计量检测，光学镜片检测、光学组件检测，手机背板和相机镜头检测，半导体晶圆检测，LED衬底蓝宝石检测，安防镜头和车载镜头检测，航空航天成像系统检测，超精密机械件检测，光学成像系统和衍射元件检测，纳米器件和MEMS检测，科研和高等教学仪器等众多领域。平面类（平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等）光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量，90°直角棱镜和角锥测量；球面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量；柱面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量；非球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。无应力平面检测干涉仪包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块。苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能

不同F数的柱面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量。苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能

激光干涉仪是以干涉测量法为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。激光具有三个重要的特性：①波长稳定②波长短③具有干涉性。光的相长干涉和相消干涉：一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束①具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束②和透射光束③。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束④。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。 苏州光学系统透射波前激光干涉仪性能

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