我们应该如何选择氦质谱仪呢？仪器的灵敏度可满足检漏检测要求。国内、国外制作的不同型号检漏仪的灵敏度都不一样，如果要求检漏灵敏度比较高，要认真选择。被检件若怕油污，应选用无油真空系统检漏仪。被检件的体积如较大，必须选择预抽泵抽速大的检漏仪，否则就加预抽泵。若检测对象不固定，体积大时小，便携式检漏机费用，灵敏度要求高时低，就需要选择功能较全、灵敏度更高、检漏范围广的检漏仪。若检漏点不固定，需经常搬运仪器，应选用小型便携仪器。在满足上述检漏基本要求的基础上，还应考虑仪器的价格是否低，便携式检漏机费用、操作是否简便，便携式检漏机费用、维护方便等问题。对于不同的目的，可以选择不同的检漏仪来完成漏检任务。便携式检漏机费用

检漏仪的检漏原理：利用氦气是比氢气小的第二轻的惰性气体，氦气在自然状态下会向上垂直扩散，在被检测的管道中注入氦气。如果这些设备有漏点，那么我们就能通过监测仪器探测到有氦气在管道外部。这就是管道中氦气检漏的方法。对于一些高精尖的细小电子元件，氦气怎么检漏呢？将要检测的元件放入充满氦气的容器中并且加压。在压力的作用下，如果这些元件存在漏点，必然会有氦气通过 这些小孔进入到元件内部。使用压缩空气将元件表面的少量残留氦气吹扫干净之后，再利用质谱仪检测元件表面泄露的氦气。池州真空检漏仪氦质谱检漏仪的灵敏度很高，可以检出很小的漏孔。

检漏仪怎么给热管散热器检漏？ 1.启动检漏仪，装上夹具；2.将热管插入夹具，并用真空封泥封堵；3.按下检漏仪的开始按键，开始抽真空；4.在产品周围喷氦气，以 E-8 mbarl/s 为合格线。检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，用得较普遍的检漏仪器。检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。普遍地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声明显减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。

检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、检漏仪中空气的本底影响。五、残余气体分子对离子的散射作用。六、灯丝和其他电极受机械振动引起的效应。如果排气管中有大量油滴，可以从氦质谱检漏仪中取出，然后清洗。

氦质谱检漏仪真空系统一般包括：1、主泵：一般用护散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-4Pa，其抽速应导气载匹配。2、前级真空泵：一般采用旋片式机械真空泵，在以分子泵为主泵的系统中也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速导主泵匹配。3、预抽真空泵：一般与前级真空泵共用一个泵，也有特定预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。4、真空规：一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规，又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。检漏仪是利用氦气作为示漏气体，用气体分析仪对氦气进行检漏的质谱仪。便携式检漏机费用

检漏仪正压检漏方法普遍应用于正压检漏和相对真空泵检漏两种方法。便携式检漏机费用

检漏仪漏率校准方法：漏率校准，①校准系统的组成校准系统由标准漏孔、截止阀及需校准的氢质谱检漏仪组成。②示值误差通电预热,待复检漏仪启动完成后,采用标准漏孔对复质谱检漏仪进行校准,将一经过校准的标准漏孔接入检漏仪系统，运行检漏仪，待漏率示值稳定后，可以读出标准漏孔漏率的检漏仪示值，同一标准漏孔测量三次，计算检漏仪示值平均值，从而得到标准漏孔漏率与检漏仪示值平均值的示值误差。结束后，将其他量级的标准漏孔依次按此方法接入检漏仪系统进行测试，得到检漏仪在每一量级下漏率的示值误差。如果测试结果有较大偏差，可以考虑检漏仪的自校功能，待完成后，再用标准漏孔进行测试。便携式检漏机费用

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