薄膜型半导体应变片
这种应变片是利用真空沉积技术将半导体材料沉积在带有绝缘层的试件上或蓝宝石上制成的。它通过改变真空沉积时衬底的温度来控制沉积层电阻率的高低,从而控制电阻温度系数和灵敏度系数。因而能制造出适于不同试件材料的温度自补偿薄膜应变片。薄膜型半导体应变片吸收了金属应变片和半导体应变片的优点,并避免了它的缺点,是一种较理想的应变片。
外延型半导体应变片
这种应变片是在多晶硅或蓝宝石的衬底上外延一层单晶硅而制成的。它的优点是取消了P-N结隔离,江西激光干涉仪表面粗糙度,江西激光干涉仪表面粗糙度,使工作温度大为提高(可达300℃以上)。 在测量软件WAVE的FFT图中,江西激光干涉仪表面粗糙度,实时显示位移数据,可快速简便地进行频谱分析,以识别共振频率。江西激光干涉仪表面粗糙度
频率影响
1 当频率自额定值偏离±10%(但对相位表和功率因数表为±2%,对单相无功功率表为±5%)时,由此所引起的仪表指示值的改变应不超过表7 中的规定值。如果在仪表上注明额定频率范围,则在此范围内的任一频率下,仪表的基本误差都应不超过规定值。如果在仪表上除注明额定频率外,还注明有扩大的频率范围时,则在此范围内的任一频率下,仪表的基本误差应不超过表7 中规定值的两倍。仪表辅助电路的电源,当其频率自额定值偏离±2%时,由此引起的仪表指示值的改变,应不超过表7 规定值的一半。
2 检验频率的影响时,应遵守有关规定(对频率的规定除外),且应除去变差影响。试验是在标度尺的几何中心附近和上量限附近的两点分度线上进行。相位表在额定电流下进行,功率表在额定功率因数下进行。 白云区激光干涉仪共焦技术电机振动的非接触频率分析。
中国机床行业市场萎缩同时又大量进口国外设备的原因之一就是因为这方面的技术没有得到推广应用。为此,需要高速多通道激光干涉仪:其测量速度达60m/min以上,采样速度达5000次/sec以上,以适应热误差和几何误差测量的需要。空气折射率实时测量应达到2×10的-7次方水平,其测量结果和长度测量结果可同步输入计算机。
运行和制造过程的监控和在线检测技术
综合运用图像、频谱、光谱、光纤以及其它光与物质相互作用原理的传感器具有非接触、高灵敏度、高柔性、应用范围广的优点。在这个领域综合创新的天地十分广阔,如振动、粗糙度、污染物、含水量、加工尺寸及相互位置等。
干涉仪技术参数:5D/6D标准型:1.线性:0.5ppm.2.测量范围:40米(1D可选80米)3.线性分辨力:0.001um.4.偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值5.比较大范围:800角秒6.滚动角精度:1.0角秒7.直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值8.直线度比较大范围:500um9.垂直度精度:1角秒10.温度精度:0.2摄氏度11.湿度精度:5%12.压力精度:1mmHg
从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。 摆动,θx(Φ)和θy(Φ),它是通过组合两个XY-跳动误差水平计算出来的。 其中Φ是围绕Z轴的样本旋转。
干涉仪维护:1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动时,应托住底座,以防导轨变形。2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和yi mi混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。4、使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝,都涂有红漆,不要擅自转动。100pm/步的线性偏移被确定。江西激光干涉仪表面粗糙度
为展示IDS3010在测量短距离和长距离位移方面的优势。江西激光干涉仪表面粗糙度
穿心式电流互感器其本身结构不设一次绕组,载流(负荷电流)导线由L1至L2穿过由硅钢片擀卷制成的圆形(或其他形状)铁心起一次绕组作用。二次绕组直接均匀地缠绕在圆形铁心上,与仪表、继电器、变送器等电流线圈的二次负荷串联形成闭合回路,由于穿心式电流互感器不设一次绕组,其变比根据一次绕组穿过互感器铁心中的匝数确定,穿心匝数越多,变比越小;反之,穿心匝数越少,变比越大,额定电流比I1/n:式中I1——穿心一匝时一次额定电流;n——穿心匝数。江西激光干涉仪表面粗糙度
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