揭示了根据本发明的一个实施例的使用超声波或兆声波装置的晶圆清洗装置。图1a揭示了晶圆清洗装置的剖视图。该装置包括用于保持晶圆1010的晶圆卡盘1014，用于驱动晶圆卡盘1014的转动驱动装置1016，用于输送清洗液1032至晶圆1010表面的喷头1012。清洗液1032可以是化学试剂或去离子水。晶圆清洗装置还包括位于晶圆1010上方的超声波或兆声波装置1003，因此，随着晶圆1010的旋转以及从喷头1012内喷出的恒定流量的清洗液1032，在晶圆1010和声波装置1003之间保持具有厚度d的清洗液1032液膜。声波装置1003进一步包括压电式传感器1004及与其配对的声学共振器1008。压电式传感器1004通电后振动，声学共振器1008会将高频声能量传递到清洗液1032中。由高频声能引起气穴振荡使得晶圆1010表面上的杂质颗粒，也就是污染物等松动，以此去除晶圆1010表面上的污染物，半导体晶圆诚信推荐。再次参考图1a所示，半导体晶圆诚信推荐，半导体晶圆诚信推荐，晶圆清洗装置还包括与声波装置1003相连接的臂1007以在竖直方向z上移动声波装置1003，从而改变液膜厚度d。竖直驱动装置1006驱动臂1007的竖直移动。竖直驱动装置1006和转动驱动装置1016都由控制器1088控制。参考图1b所示，揭示了图1a所示的晶圆清洗装置的顶视图。声波装置1003*覆盖晶圆1010的一小部分区域。半导体行业，晶圆制造和晶圆加工。半导体晶圆诚信推荐

    只要该半导体组件层130所包含的半导体元器件需要藉由该晶圆层320与该金属层310传递电流，都可以适用于本申请。该晶圆层320包含彼此相对的一***表面321与一第二表面322，该***表面321与上述的半导体组件层130相接。该第二表面322与该金属层310相接或相贴。从图3可以看到，该***表面321与第二表面322的**大距离，出现在该结构300的边缘处。在一实施例中，该***表面321与第二表面322的**小距离，出现在该结构300的中心处。在另一实施例中，该***表面321与第二表面322的**小距离，出现在该半导体组件层130的器件投影在该***表面321的地方。在一实施例当中，当该结构300属于一薄型化芯片时，该***表面321与第二表面322的**大距离，或者说是该晶圆层320的厚度，可以小于75um。在另外的一个实施例当中，该***表面321与第二表面322的**大距离，或者说是该晶圆层320的厚度，可以是介于100~150um之间。在额外的一些实施例当中，该***表面321与第二表面322的**大距离，或者说是该晶圆层320的厚度，可以是介于75~125um之间。但本领域普通技术人员可以理解到，本申请并未限定该晶圆层320的厚度。和传统的晶圆层120相比。广东8寸半导体晶圆厚度多少半导体晶圆销售厂家、。

    以及波导表面缺陷微结构204。光源输入端数量以及方位需根据被检测样品的尺寸进行设置。光源载具需要能够在二维平面内进行缩放调控，满足不同尺寸样品的需求。光源载具的设计不限于图中所示圆环形貌，也可是**控制的多组结构。如被检测波导为多边形结构，需要将输入光源的排布形貌做出调整。如图3所示为一种实施实例示意图，包括环形耦合波导302，环形波导内传输光场301，被检测晶圆波导303以及晶圆波导表面缺陷304。当光场在环形耦合波导内传输时，环形波导表面的倏逝场将耦合进被检晶圆波导内。如前所述，不同的环形耦合波导结构需要根据被检测样品的尺寸进行切换。图4a是一种暗场照明实施方案图，包括斜照明光源载具401，斜照明光源输出端口402，显微物镜403，以及被检测晶圆样品404。环形光源输出端口402被夹持或者固定在载具401上，输出光场倾斜入射照明被检测晶圆样品。图4b是对应的暗场照明模块的垂直截面图。暗场照明也可采用暗场聚光器实施。图5是移频照明成像原理示意图，对应的坐标系为频谱空间域，(0,0)为频谱域坐标原点，(0,kobl.)表示暗场照明沿着x方向入射时所能提供的移频量，(0,keva.)表示倏逝场移频照明沿着x方向入射时所能提供的频移量。

    清洗液中的气泡可以在每次***时段的清洗后充分冷却，以避免损伤晶圆。根据以下实施例的详细描述，本发明的其他方面、特征及技术对于本领域的技术人员将是显而易见的。附图说明构成本说明书一部分的附图被包括以描述本发明的某些方面。对本发明以及本发明提供的系统的组成和操作的更清楚的概念，通过参考示例将变得更加显而易见，因此，非限制性的，在附图中示出的实施例，其中类似的附图标记(如果它们出现在一个以上的视图)指定相同的元件，通过参考这些附图中的一个或多个附图并结合本文给出的描述，可以更好地理解本发明，应当注意，附图中示出的特征不是必须按比例绘制。图1a至图1b揭示了根据本发明的一个实施例的使用超声波或兆声波装置的晶圆清洗装置。图2a至图2g揭示了不同形状的超声波或兆声波换能器。图3揭示了在晶圆清洗过程中气泡内爆。图4a至图4b揭示了在晶圆清洗过程中不稳定的气穴振荡损伤晶圆上的图案结构。图5a至图5c揭示了在声波清洗晶圆过程中气泡内部热能变化。图6a至图6c揭示了在声波清洗晶圆过程中**终发生微喷射。图7a至图7e揭示了根据本发明的一个实施例的声波晶圆清洗工艺。图8a至图8d揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。天津12英寸半导体晶圆代工。

    目的是使得气泡内气体和/或蒸汽的温度降至接近室温t0。图12a-12b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率增至f2，功率水平p2基本上等于功率水平p1。图13a-13b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率增至f2，功率水平从p1降至p2。图14a-14b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例的差异*在步骤10050。在本实施例的声波晶圆清洗工艺中，在时间段τ2内，电源的频率从f1增至f2，功率水平从p1增至p2。由于频率f2高于频率f1，因此，声波能量对气泡的加热不那么强烈，功率水平p2可略高于功率水平p1，但是不能太高，以确保在时间段τ2内，气泡内气体和/或蒸汽的温度降低，如图14b所示。图15a至图15c揭示了在声波清洗晶圆的过程中，稳定的气穴振荡损伤晶圆上的图案结构。参考图15a所示。中硅半导体半导体晶圆现货供应。丹东标准半导体晶圆

半导体晶圆的运用场景。半导体晶圆诚信推荐

    在步骤10010中，将超声波或兆声波装置置于晶圆的上表面附近。在步骤10020中，将清洗液，可以是化学液或掺了气体的水喷射到晶圆表面以填满晶圆和声波装置之间的间隙。在步骤10030中，卡盘携带晶圆开始旋转以进行清洗工艺。在步骤10040中，频率为f1以及功率水平为p1的电源被应用于声波装置。在步骤10050中，当频率保持在f1时，电源的功率水平在气泡内气体和/或蒸汽的温度达到内爆温度ti之前，或在时间τ1达到由公式(11)计算的τi之前，降低到p2。在步骤10060中，气泡内气体和/或蒸汽温度降至接近室温t0或持续时间达到τ2后，电源的功率水平恢复到p1。在步骤10070中，检查晶圆的清洁度，如果晶圆尚未清洁到所需程度，则重复步骤10010-10060。或者，可能不需要在每个周期内检查清洁度，取而代之的是，使用的周期数可能是预先用样品晶圆通过经验确定。图11a至图11b揭示了根据本发明的另一个实施例的声波晶圆清洗工艺。本实施例中的声波晶圆清洗工艺与图10a-10c所示的实施例中的相类似，差异*存在于步骤10050中。图11a-11b所示的晶圆清洗工艺在时间段τ2内使频率降至f2，以此来代替保持频率在f1。功率水平p2应该***地低于p1，**好是小5或10倍。半导体晶圆诚信推荐

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