如何能够找到一种合适的紫外探测器，克服现有紫外探测器件存在的上述缺陷，已成为业内诸多具有前瞻性的研究人员广为关注的焦点之一。技术实现要素：有鉴于此，本发明要解决的技术问题在于提供一种氧化锌基合金紫外探测器及其制备方法，特别是一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器。本发明制备的氧化锌基合金紫外探测器具有较低的暗电流和良好的器件稳定性。本发明提供了一种氧化锌基合金紫外探测器，所述氧化锌基合金紫外探测器包括衬底；复合在所述衬底上的氧化锌基合金薄膜层；复合在所述氧化锌基合金薄膜层上的叉指电极层。推荐的，徐州锌基合金衬套，徐州锌基合金衬套，所述氧化锌基合金紫外探测器的光响应截止边为390～410nm；所述氧化锌基合金紫外探测器具有msm结构；所述衬底包括蓝宝石衬底，徐州锌基合金衬套、石英衬底和氧化镁衬底中的一种或多种；所述衬底的厚度为100～600nm；所述氧化锌基合金紫外探测器还包括设置在所述叉指电极层的非叉指电极表面上的in颗粒。推荐的，所述in颗粒的直径为1～3mm；所述in颗粒的高度为～1mm；所述叉指电极层的材质包括金、银、铂和铝中的一种或多种；所述叉指电极层的厚度为20～40nm；所述叉指电极层中，叉指电极的指间距为2～10μm。推荐的。锌基合金衬套的构件包括哪些？徐州锌基合金衬套

    本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述衬底推荐包括蓝宝石衬底、石英衬底和氧化镁衬底中的一种或多种，更推荐为蓝宝石衬底、石英衬底或氧化镁衬底。本发明所述衬底的厚度推荐为100～600nm，更推荐为200～500nm，更推荐为300～400nm。本发明原则上对所述叉指电极层的具体材质和参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层的材质推荐包括金、银、铂和铝中的一种或多种，更推荐为金、银、铂或铝。本发明所述叉指电极层的厚度推荐为20～40nm，更推荐为23～38nm，更推荐为25～35nm，更推荐为27～32nm。本发明原则上对所述叉指电极的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述叉指电极层中，叉指电极的指间距推荐为2～10μm，更推荐为3～9μm。徐州锌基合金衬套徐州锌基合金衬套公司哪家好？

    本发明属于半导体紫外探测技术领域，涉及一种氧化锌基合金紫外探测器及其制备方法，尤其涉及一种具有陡峭的光吸收截止边的单一相晶体结构的氧化锌基合金薄膜紫外探测器及其制备方法。背景技术：太阳辐射是维持人类日常活动的能源之一，虽然紫外光在太阳光谱只占到7％的比例，但是在人类生活中占有十分重要的角色。近些年来由于大气中臭氧层的破坏加重，使得地球表面的紫外辐射逐渐增多，过量的紫外辐射可以引起皮肤*、白内障以及免疫系统功能的降低，还可以使农作物减产，产生一系列环境问题。因此，关于紫外辐射的探测技术引起了的关注。而且紫外探测技术在导弹尾焰探测，火焰传感，空气和水净化以及空对空通信等和民用领域有广阔的应用前景。近年来，伴随着紫外辐照在**、科学研究和民用领域的应用，目前，已经入商用的紫外探测器主要有硅探测器、光电倍增管和半导体探测器。硅基紫外光电管需要附带滤光片，光电倍增管则需要在高电压下工作，而且体积笨重、效率低、易损坏且成本较高，对于实际应用有一定的局限性。相对硅探测器和光电倍增管来说，由于半导体材料具有携带方便、造价低、响应度高等优点而备受关注，也随之快速发展。

    降温后得到生长有氧化锌基合金薄膜的衬底；所述金属为氧化锌基合金中的金属元素；2)将叉指电极材料真空蒸镀到氧化锌基合金薄膜表面，再经过光刻后，得到叉指电极层；3)在上述步骤得到的叉指电极层的非叉指电极处按压in颗粒后，得到氧化锌基合金紫外探测器。本发明上述制备方法中，所述氧化锌基合金紫外探测器的结构、组成、参数及其推荐原则，与前述氧化锌基合金紫外探测器中的结构、组成、参数及其推荐原则均可以一一对应，在此不再一一赘述。本发明首先在含有氧气的条件下，将有机锌源和有机金属化合物在加热衬底上进行化学气相沉积，降温后得到生长有氧化锌基合金薄膜的衬底。本发明所述金属是指氧化锌基合金中的金属元素，所述有机金属化合物是指氧化锌基合金中的金属元素的原料。本发明原则上对所述含有氧气的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为提高氧化锌基合金的性能参数，提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧气流速推荐为150～1850sccm，更推荐为350～1650sccm，更推荐为550～1450sccm，更推荐为750～1250sccm，更推荐为950～1050sccm。锌基合金衬套设计公司选徐州市宏润耐磨材料厂。

    三甲基铅管路的载气流速为10ml/min。步骤3)生长2小时，关闭有机源，以5℃/min的速率降低温度，**终降低到室温，取出衬底。步骤4)将步骤3)中样品放入真空镀膜机中，在气压为，使用蒸发电流140a，将50mgau颗粒蒸镀到样品表面。步骤5)将步骤4)中得到的样品通过光刻和湿法刻蚀表面的金得到叉指电极，在叉指电极上按压in粒得到msm结构的znpbo紫外探测器。参见图1，图1为本发明提供的氧化锌基合金紫外探测器的结构示意简图。对本发明实施例1中得到的氧化锌基合金薄膜进行粉末x射线衍射(xrd)测试。参见图2，图2为本发明实施例1得到的氧化锌基合金薄膜的粉末x射线衍射图谱。从图2中的图谱可以看出，在蓝宝石衬底上制备的氧化锌基合金薄膜的晶体结构为单一相结构。氧化锌基合金(0002)的吸收峰比较尖锐，说明结晶质量较高。对本发明实施例1中得到的氧化锌基合金薄膜进行紫外-可见光吸收光谱(uv-vis)测试。参见图3，图3为本发明实施例1得到的氧化锌基合金薄膜的紫外-可见光吸收光谱图。从图3中的谱图可以看出，制备的氧化锌基合金薄膜具有较陡的单一光吸收截止边，吸收截止边十分陡峭的，其截止边位于400nm附近。对本发明实施例1中得到的氧化锌基合金紫外探测器进行光响应特性测试。锌基合金衬套中常用的材料有哪几种？徐州锌基合金衬套生产厂家

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    更推荐为4～8μm，更推荐为5～7μm。所述叉指电极层中，叉指电极的叉指的对数推荐为10～25对，更推荐为12～23对，更推荐为14～21对，更推荐为16～19对。所述叉指电极层中，叉指的长度推荐为～2mm，更推荐为～，更推荐为～，更推荐为～。所述叉指电极层中，叉指的宽度推荐为2～10μm，更推荐为3～9μm，更推荐为4～8μm，更推荐为5～7μm。本发明原则上对所述in颗粒的具体参数没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述in颗粒的直径推荐为1～3mm，更推荐为～，更推荐为～，更推荐为～。所述in颗粒的高度推荐为～1mm，更推荐为～，更推荐为～。本发明原则上对所述氧化锌基合金薄膜的具体组成没有特别限制，本领域技术人员可以根据实际情况、原料情况以及产品要求进行选择和调整，本发明为进一步提高氧化锌基合金紫外探测器的性能，提高氧化锌基合金紫外探测器的响应度，所述氧化锌基合金中的合金元素推荐包括al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti和ni中的一种或多种，更推荐为al、li、be、cd、hg、co、fe、pb、mn、ti或ni。徐州锌基合金衬套

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