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江苏光学平行度激光干涉仪联系方式 苏州千宇光学科技供应

信息介绍 / Information introduction

白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。SuperViewW1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天,江苏光学平行度激光干涉仪联系方式,江苏光学平行度激光干涉仪联系方式、****、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,江苏光学平行度激光干涉仪联系方式,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。应用领域:计量领域(平面平晶检测)。江苏光学平行度激光干涉仪联系方式

由于激光具有极好的时间相干性,其相干距离可以达到数公里,所以自激光问世以来,以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注,其应用范围不断扩展,激光干涉仪技术也不断发展,出现了各种形式的激光干涉仪。尽管存在各种形式的激光干涉仪,但从原理上讲,可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machelson干涉仪系统,图1为单频激光干涉仪原理示意图,分光镜BS将激光分为2束,一束射向定镜R,另一束射向动镜M,当动镜M移动时,经R和M的反射光在O处汇合产生干涉,由于分光镜金属膜的附加相移性质,光电探测器D1、D2接受的信号相位差为90°,用于计数器的方向辨别。江苏光学平行度激光干涉仪联系方式激光干涉仪测试项目:平面度。

光的干涉:光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加,在某些区域始终加强,在另一些区域则始终削弱,形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件:只有两列光波的频率相同,位相差恒定,振动方向一致的相干光源,才能产生光的稳定干涉。由两个普通**光源发出的光,不可能具有相同的频率,更不可能存在固定的相差,因此,不能产生稳定干涉现象。两列振幅为A1,、A2,频率为f,初始相位分别为∅1和∅2的光在空间叠加时的光强为:若光的振幅相等:相位角相同时,复合光强为原先的2倍,产生明条纹。当相位角相差180º(半个波长)时,复合光强为0,产生暗条纹。

基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图,双纵模稳频的激光器输出激光,由检偏器P抑制一个纵模输出,线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器,衍射的0级输出保持原频率f1和原方向,1级输出偏转一个(-θ)角,并产生频移,频移后的频率变为f2,此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率,也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离,通过一个孔栏A得到了同轴的,具有频差(f2-f1)的,偏振方向相互垂直的双频激光。通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能,可以在有空气扰动,轻微振动的环境下检测。

激光干涉仪工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。不同F数的柱面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量。江苏激光干涉仪应用范围

球面类光学元表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。江苏光学平行度激光干涉仪联系方式

计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测,半导体晶圆检测,LED衬底蓝宝石检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。平面类(平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等)光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量,90°直角棱镜和角锥测量;球面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。江苏光学平行度激光干涉仪联系方式

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