氦质谱检漏仪可采用干式泵，达到无油蒸气的效果，为无油系统及芯片等半导体器件的检漏，提供了有利条件。5.检漏范围宽：现今生产的检漏仪，苏州智能氦质谱检漏仪哪家好，质量范围很宽，不但可检测氦气，而且能检测其它气体。在获得氦气信号值的基础上，通过标准的泄漏量比较，可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪具有性能稳定，苏州智能氦质谱检漏仪哪家好、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高，苏州智能氦质谱检漏仪哪家好，用得比较普遍的检漏仪器。氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法。苏州智能氦质谱检漏仪哪家好

氮氢检漏仪与氦质谱检漏仪有什么不同？氮氢检漏仪与氦质谱检漏仪均属于示踪气体检漏仪，氮氢检漏仪使用95%的氮气加5%的氢气，氦质谱检漏仪使用的是氦气，众所周知，氢和氦是自然界中二种分子量较小的物质，氢很活泼，氦是惰性气体。氮氢检漏仪是通过测试氮氢混合气中的氢气泄漏量来测试泄漏的大小，氦质谱检漏仪是通过测试氦气的泄漏来测试泄漏的大小。这两种方法均是属于较高精度的微泄漏检测方法。氦质谱检漏仪一般由质谱管，真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器；真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以一定能量注入质分析器。苏州智能氦质谱检漏仪哪家好氦质谱检漏仪作为一种测量仪器。

氦质谱检漏仪的检漏方式：1、钟罩法——测总漏率，将被检件与仪器检漏口联接抽真空，在被检件外面罩以充满氦气的容器，如被检件有漏孔，氦气便由漏孔进入被检件，达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率，不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率，进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量)，然后取出被检件，吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中，再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上，对检漏罐抽真空，实施检漏。若器件有漏，则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐，到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。

氦质谱法检漏方法可分为真空法、正压法、真空压力法和反压法。灵敏度、反应时间、消除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。氦质谱检漏仪的灵敏度，通常指仪器的可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于较佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的漏孔漏率。所谓“较佳工作条件”是指仪器参数调整到合适的值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。可检漏率即氦质谱检漏仪所能检出的漏孔的漏率。

氦质谱检漏仪使用时的注意事项：一、充注检漏气体前，试件必须抽空，为了正确试漏，在充注检漏气体前将试件预抽空是完全必要的，特别是对几何形状长和窄的试件尤为重要。如果充注前未抽空，试件中的空气将被挤压至几何空间的终端，而检漏气体不可能进入这个部位，从而潜在的漏孔将只释放空气，检漏仪则不能检测到这些漏孔。二、检漏气体测试前切勿使用水槽试漏，检漏气体测试的漏孔通常非常微小或者是狭长的毛细管，如果在检漏气体测试前将漏孔置于水槽中，这些漏孔或者毛细管则将被水堵塞或充满，而堵在漏孔中的水因为表面张力的原因，会非常不易从小孔中驱逐，从而影响检漏结果。解决这一问题的办法，只能通过漫长的干燥过程来排除这些水分。氦质谱检漏仪适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏。杭州氦质谱检漏仪大概多少钱

只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用氦质谱检漏仪。苏州智能氦质谱检漏仪哪家好

氦质谱检漏仪的使用方法：1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了普遍应用。2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。苏州智能氦质谱检漏仪哪家好

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