氦质谱检漏仪用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到只对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，模块式氦气检测仪厂家，从而可知漏孔所在及漏气量大小。关键部件均为进口，性能稳定可靠。不但灵敏度高，模块式氦气检测仪厂家，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换，模块式氦气检测仪厂家。氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。模块式氦气检测仪厂家

氦质谱检漏仪检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括几个方面：一、氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。二、进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。三、所用标准漏孔的标称漏率有误差。四、氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。小型氦气检测仪特点为防止油污、粉尘和杂物进入氦质谱检漏仪，应在氦质谱检漏仪下方设置过滤器。

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规等。

氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护？当发现检漏仪的灵敏度降低，而检漏仪的工作真空度状态良好，放大器的各级工作电压也符合标准要求，就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候，就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下：先用高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件，不能用粗砂纸，因为粗砂纸容易损伤真空分析管道及离子源的各电极部件；然后用航空汽油或无水乙醇清洗，并用去离子水冲洗干净；然后用烘箱或电吹风进行干燥。如果操作正确，经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2～3倍。氦质谱检漏仪应每隔一段时间保养油泵。

氦质谱检漏仪作为一种测量仪器，需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准，以保证设备自身检测精度。氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点，是真空检漏技术中灵敏度高，用得比较多的检漏仪器。消费者在选购氦质谱检漏仪时必须要根据产品的检测功能需求进行挑选，例如仪器需要批量检查的需求则必须要确保这种氦质谱检漏仪的检查速度，立足于自身的需求保证这种氦质谱检漏仪的功能得以实现才是正确的挑选方式。氦质谱检漏仪的主要根据被检漏设备的允许漏率为依据。模块式氦气检测仪厂家

氦质谱检漏仪适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。模块式氦气检测仪厂家

氦质谱检漏仪检漏注意事项：1、工件要保持清洁、干燥。2、对工件喷氦应按以下顺序进行：①从上往下。②从靠近测试口到远离测试口。3、喷氦时应经常检查喷口是否有氦气喷出。4、检完工件，必须将“节流阀”关闭，才能取工件。5、对同一工件，如有两处以上漏点，应排除Zda的漏点后，再对其它地方检漏。6、装工件时应使连接处密封好，不能有漏。7、检漏间应通风良好，避免氦气浓度，但应避免强通风。8、氦气属贵重气体，应避免泄漏浪费。氦质谱检漏仪灯丝安装时应先将离子源内的污渍用细砂纸打干净，清洗后再装。灯丝应正对电离盒电子入口，尽量靠近电离盒，但不能短路，三根引线间也不能相互短路。模块式氦气检测仪厂家

上海妤林真空设备技术有限公司位于徐行镇新建一路2255号1幢104。公司业务分为氦气检漏仪，氦气回收系统，检漏仪，氦检仪等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供良好的产品和服务。公司秉持诚信为本的经营理念，在仪器仪表深耕多年，以技术为先导，以自主产品为重点，发挥人才优势，打造仪器仪表良好品牌。上海妤林真空立足于全国市场，依托强大的研发实力，融合前沿的技术理念，飞快响应客户的变化需求。

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