基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图，双纵模稳频的激光器输出激光，由检偏器P抑制一个纵模输出，线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器，衍射的0级输出保持原频率f1和原方向，1级输出偏转一个(-θ)角，并产生频移，江苏激光球面激光干涉仪方案，频移后的频率变为f2，此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率，也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离，江苏激光球面激光干涉仪方案，通过一个孔栏A得到了同轴的，具有频差(f2-f1)的，江苏激光球面激光干涉仪方案，偏振方向相互垂直的双频激光。激光干涉仪精密度：λ/65 PV.江苏激光球面激光干涉仪方案

自十九世纪以来，干涉测量技术一直是精密测量领域中的重要技术之一，在精密工业生产加工以及基础科学测量有着广泛应用。近几十年来，随着空间科学应用的发展需求，例如空间引力波探测，高精度星间激光测干涉测量技术得到***重视。高精度星间激光测距是利用两颗卫星之间的两束或者多束激光进行干涉，通过读取干涉信号的相位信息得到星间距离变化信息。基于高精度星载激光稳频、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光指向控制等技术，可实现皮米级星间位移测量，对空间科学与技术、基础物理实验等研究领域具有重要价值与应用江苏角锥测量激光干涉仪销售公司超精密机械件检测，光学成像系统和衍射元件检测，纳米器件和MEMS检测，科研和高等教学仪器等众多领域。

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 CCD分辨率：1280*960像素。

激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理：(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。球面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量。江苏激光干涉仪品牌排行

通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。江苏激光球面激光干涉仪方案

无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用国内外**的组合式激光干涉仪作为**部件，主要用于高效检测高精度平面，该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际前列水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的***测量精度PV和***测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、**、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。江苏激光球面激光干涉仪方案

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