国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来，国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大，特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光，原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产，以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的**技术，江苏透射波前激光干涉仪，走在了世界前端，也解决了国内无源的重大难题。业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来，业界认为单频干涉仪没有非线性误差。事实上，德国联邦物理技术研究院(PTB)经严格测试发现，单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差，甚至大于10nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差，江苏透射波前激光干涉仪，也是无法消除的。非线性误差发生在半个波长的位移内，即使量程很小也照样存在。对此干涉仪测量的误差，大多使用者是不知情的，江苏透射波前激光干涉仪。光学镜片检测、工业计量检测、光学加工等工业领域对球面面形的检测应用需求。江苏透射波前激光干涉仪

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。江苏通用激光干涉仪咨询问价非球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量。

声光频移基于Bragg衍射，为保证激光经多个声波波前反射后实现多光束相干，必需保证:dλ>>Λ2，式中d为声光介质厚度，λ为输入激光波长，Λ为声波波长。从式中可见，由于存在声光介质厚度d，声波频率不可能过低，也即由声光频移产生的双频激光的频差不可能过低，一般在几十MHz到几百MHz，这样对系统的硬件速度又提出了更高的要求。采用声光移频技术，可以使激光干涉议的光学系统**简化，如2束光的频差取决于电路中的晶体振荡器，可以直接在电路中得到，与外差式激光干涉议相比，可以省去一套参考信号的接受光路。此外，由于这样的系统不存在激光干涉仪的定臂，难以用一个激光头来实现角度和直线度测量。

激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义，可溯源至国家标准。但是我们在使用中往往会出现检测偏离值，偏离我们的预估，以至于在高精度检测时，对设备产生怀疑。***我们来扒一扒引起激光干涉仪测量误差的部分原因。

1、 阿贝误差：测量光学镜组的安装高度不在被测设备的运动轴上引起的测量误差称之为阿贝误差。产生的原因是设备移动时存在俯仰、扭摆差，因此光学镜组与运动轴偏置距离越远，引起的阿贝误差越大。 应用领域：手机工业（背板检测）。

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 平面类（平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等）光滑表面面形测量。江苏透射波前激光干涉仪

激光干涉仪重复性：λ/100 RMS。江苏透射波前激光干涉仪

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