基本上，激光干涉仪都使用氦氖激光器的632.8nm波长的光，橙红灿烂的光束射向远方，发散角可以小到0.1mrad，光束截面的光斑均匀。氦氖激光器还可输出绿光、黄光、红外光，但只有632.8nm波长的光适合作激光干涉仪的光源。其它类型的激光器，如半导体（LD）、固体激光器等的相干等性能都远不及氦氖激光器，研究人员多有尝试，江苏平面相移激光干涉仪应用范围，江苏平面相移激光干涉仪应用范围，江苏平面相移激光干涉仪应用范围，但都没有成功。激光干涉仪有很多应用，但本质都是测量中学课本讲的“位移”，诸多应用都是“位移”的延伸和转化。激光干涉仪有两个主流类型：单频激光干涉仪和双频激光干涉仪。可实现90°直角棱镜和角锥测量。江苏平面相移激光干涉仪应用范围

激光干涉仪的应用一般说来，激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态，即目标的线性位移大小、旋转角度（滚转、俯仰和偏摆）、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性（度）、平面度等。无论光刻机的机台，还是数控机床的导轨（包括激光加工机床），不论是飞行物，还是静止物的热膨胀、变形，一旦需要高精度，都要用激光干涉仪测量，得到目标的运动状态。运动状态由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例，位移（走过的长度）、机台位移过程中的偏转（角）、俯仰（角）和滚转（角）都需要测出。很多类型的设备需要测量，如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。江苏表面面形测量激光干涉仪用户体验LED工业（蓝宝石衬底检测），数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。

人们通常能看见光，是因为光的漫反射；激光是单色光，人们在空气中能够看见激光，也是因为它与空气中的微粒作用产生漫反射的原因。激光与普通光不一样，是单色光，是某物质的电子能量跃迁产生的，所以它的振动频率很单一，波动方向也恒定，是干涉光波。什么是激光的干涉现象？用一个干涉实验来说明。经过两个小孔得到两个同样性质的光，于是它们在传播过程中叠加了，有的地方振动始终加强，某些地方的震动始终减弱，而且振动强度有着稳定的空间分布。在固定位置接收到的光强按一定规律作强弱交替变化，形成激光的干涉条纹。

单频激光干涉仪：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为 激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。激光干涉仪精密度：λ/65 PV.

由于激光具有极好的时间相干性，其相干距离可以达到数公里，所以自激光问世以来，以激光为光源的激光干涉仪一直被人们所关注，其应用范围不断扩展，激光干涉仪技术也不断发展，出现了各种形式的激光干涉仪。尽管存在各种形式的激光干涉仪，但从原理上讲，可以归结为单频激光干涉仪和外差激光干涉仪两种基本类型。通常用于长度测量的激光干涉仪采用Machelson干涉仪系统，图1为单频激光干涉仪原理示意图，分光镜BS将激光分为2束，一束射向定镜R，另一束射向动镜M，当动镜M移动时，经R和M的反射光在O处汇合产生干涉，由于分光镜金属膜的附加相移性质，光电探测器D1、D2接受的信号相位差为90°，用于计数器的方向辨别。激光干涉仪重复性：λ/100 RMS。江苏通用水平式激光干涉仪方案

激光干涉仪测试项目：光学系统透射波前。江苏平面相移激光干涉仪应用范围

单频激光干涉仪的工作原理：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路：一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。 江苏平面相移激光干涉仪应用范围

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