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江苏表面面形测量激光干涉仪参考价 苏州千宇光学科技供应

信息介绍 / Information introduction

白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。SuperViewW1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工,江苏表面面形测量激光干涉仪参考价、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、****、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,江苏表面面形测量激光干涉仪参考价,江苏表面面形测量激光干涉仪参考价,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。通用组合水平式检测干涉仪(数字化相移分析系列)是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。江苏表面面形测量激光干涉仪参考价

把一束激光用分光镜分成两路,这两路光是频率相同的,调整两路光的行程差(只是激光波长的一半,很微小),使得这两路光有相位差;它们平行叠加时就产生干涉现象。我们把这种激光设想为正弦波,如下图,当2个频率相同且相差1/4个波长的正弦波叠加时,振幅有的地方变强了(这对应着光的强度变大了,亮些),有的地方变弱了(这对应着光的强度减弱了,暗些);所以,2个亮条纹中心之间的距离表示该激光的1/2个“波长”;只要在1米长的范围内计算有多少个亮条纹,就可以知道此激光的“波长”是多少,从而知道它的“频率”是多少了。江苏表面面形测量激光干涉仪参考价平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量。

双频激光干涉仪的工作原理:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。

基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图,双纵模稳频的激光器输出激光,由检偏器P抑制一个纵模输出,线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器,衍射的0级输出保持原频率f1和原方向,1级输出偏转一个(-θ)角,并产生频移,频移后的频率变为f2,此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率,也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离,通过一个孔栏A得到了同轴的,具有频差(f2-f1)的,偏振方向相互垂直的双频激光。柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量。

国内外单频和双频激光干涉仪的进展及问题多年来,国内外在单频和双频激光干涉仪方面进步不大,特例是双折射-塞曼双频激光器的发明。由于从国外购买的激光器不能产生大间隔的双频光,原有国内双频激光干涉仪的供应商基本停产,以前作为基础研究的双折射-塞曼双频激光器被推到前台。双频激光器是干涉仪的**技术,走在了世界前端,也解决了国内无源的重大难题。业界往往忽略干涉仪的非线性误差很长时期以来,业界认为单频干涉仪没有非线性误差。事实上,德国联邦物理技术研究院(PTB)经严格测试发现,单频干涉仪也存在几纳米的非线性误差,甚至大于10nm。塞曼效应的双频干涉仪也有非线性误差,也是无法消除的。非线性误差发生在半个波长的位移内,即使量程很小也照样存在。对此干涉仪测量的误差,大多使用者是不知情的。材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等,内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。江苏表面面形测量激光干涉仪参考价

激光干涉仪测试项目:球面测量。江苏表面面形测量激光干涉仪参考价

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10。从激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式江苏表面面形测量激光干涉仪参考价

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