半导体制造业挥发有机气体防治研究

前言

半导体制造的过程除了会产生众多无机有害气体外，还容易产生大量的挥发有机污染物VOCs。这些有机污染物主要来源于清洗、刻蚀、沉积、镀膜、光刻、显影等频繁使用有机溶剂的工序。半导体生产制造过程中产生的VOCs污染物成分复杂，主要有各类烷烃、烯炔烃类、芳族化合物以及酮、醚类等。大量挥发性的有机污染物进入大气中不但会对自然生态造成巨大破坏，而且也对人们的身心健康产生严重威胁。现代半导体生产制造企业产能扩张，产生了大量工业废气进入大气环境，工业废气中难被自然界自净消除，广东环境检测气体检测仪以客为尊、对动植物危害的就是挥发性有机污染物（VOCs）。这些小分子有机污染气体通常化学性能活泼，具备极强的化学反应活性，非常容易与自然界中像臭氧、空气等发生反应，引发越来越严重的温室效应，长期来看甚至可能引发区域性乃至全球性环境危机。空气中的挥发性有机污染物也通过呼吸道进入人体内，不仅会对呼吸道造成损伤，同时也容易引起肝脏、肾脏的病变，长期吸入将增加致风险。因此，广东环境检测气体检测仪以客为尊，加强对半导体企业的监督管理，强化企业排放VOCs的治理极具社会意义。 对于有更多有机有害气体(如芳香烃，广东环境检测气体检测仪以客为尊、氨气等)的环境，则一定要选择光离子化检测仪。广东环境检测气体检测仪以客为尊

废水中的主要污染物种类：

针对对应的检测项目，分别可使用气体检测仪和水质分析仪可对相应项目进行检测。例如，气体检测仪中的空气检测仪可对废气中的一氧化碳、二氧化硫、氮氧化物等进行检测；水质分析仪中的氨氮测定仪可对水体中的氨氮等进行监测。

水质分析仪

对于重金属检测，还有原子荧光光谱、原子吸收光谱、电感耦合等离子体发射光谱法等测试方法可以选择。

重金属检测的其它方法

生态环境部接连发布排污许可证申请与核发技术规范，一方面加速了行业的规范化，有利于防止环境污染；另一方面对于仪器行业和第三方检测行业也是一个新的机遇，相应的采购与检测需求也会进一步增加。相信2019年下半年，国家会出台更多的行业规范，检测标准也会越来越系统化和规范化。 广东智能有害气体检测仪制品价格而特殊气体检测仪器价格则在几千上万不等。常见可燃有毒气体检测仪器的优点是性价比高，性能好。

四合一气体检测仪的选型怎么做？

1)确定待测气体的种类及浓度范围若多数为甲烷或其它毒性较小的烷烃，则选择气体检测。检测器原理简单，适用范围广，维护校准方便。当有毒气体如一氧化碳和硫化氢的存在时，尽量选择与被检测气体对应的多合一气体检测仪器。对有机有毒有害气体(如芳香烃，卤代烃，氨，醚，酒精，脂肪等)可选用光离子多合一气体探测器。在复盖多种气体的情况下，尽量选用复合型或四合一气体探测器。

2)使用气体探测器的工作环境可在开放式环境中使用可携带的气体检测仪，实时、准确地连续显示有毒有害气体的浓度。为了防止在嘈杂环境下听不到声音，一般都配有振动报警或光报警附件，还配有电脑芯片，记录着峰值信息，为工人的健康和安全提供具体指导。例如应用于一些有限封闭空间的环境下，如储油罐或容器、排水沟或其他地下管道、地下设施、农田、铁路、货舱、隧道等，在人员进入之前必须进行检查，并在封闭空间之外进行检查。这时，尽量选用带采样泵的四合一气体检测仪。可安装在单个设备上所需的四合一气体检测仪，具有体积小，重量轻，反应迅速，显示多种气体浓度等特点。

气体检测仪是怎样进行校准的呢？

气体检测仪使用一段时间后，为保障检测数据的精确性需要定期对气体检测仪进行校准作业，那么气体检测仪是怎样进行校准的呢？

气体检测仪通常是采用相对比较的方法测定的：

先用一个零气体和一个标准浓度的气体对仪器进行标定，得到标准曲线储存于仪器中，测定时，仪器将待测气体浓度产生的电信号同标准浓度的电信号进行比较，计算得到准确的气体浓度值。气体检测仪在投入使用过程中，定期对检测仪器进行校准是保证仪器测量准确的必不可少的工作。所以安防部门要建立详细的定期校准方案，在固定的时间段对气体检测仪进行校准，从而保证检测数据的准确度。目前气体检测仪更换气体传感器也较为方便，当超出传感器使用寿命期限后，可以联系气体检测仪厂家进行传感器的更换，同时可以对更换传感器之后的设备重新校准，计量合格之后方可投入使用。气体检测仪在使用时，维护环节也尤为重要，需要指定专人专员保管保养，使用过程中注意防水、防尘，调整设备仪器必须经过专门的培训方可操作，当设备出现问题切勿私自拆装，返厂维修或在专业人员的指导下进行维修操作。 而特殊气体则满足特殊检查需求且精细度高，但价格昂贵。

浅谈气体检测的重要性：

随着工业发展的快速进行，越来越多的气体被排放到了空气中，很多气体都会对人类的生活产生影响。而人们也意识到了这一点，开始对各种气体进行检测，于是越来越多的气体检测仪进入市场，这样也使得人民对于气体检测仪的选择带来了困扰。下文使大家能够具体了解检测分类以及应用范围。

所谓气体检测仪是一种气体泄露浓度检测的仪器仪表工具，其中主要包括：便携式气体检测仪、手持式气体检测仪、固定式在线式气体检测仪等。主要利用气体传感器来检测环境中存在的气体种类，气体传感器是用来检测气体的成份和含量的传感器。一般认为，气体传感器的定义是以检测目标为分类基础的，也就是说，凡是用于检测气体成份和浓度的传感器都称作气体传感器，不管它是用物理方法，还是用化学方法。比如，检测气体流量的传感器不被看作气体传感器，但是热导式气体分析仪却属于重要的气体传感器，尽管它们有时使用大体一致的检测原理。 对有机有毒有害气体(如芳香烃，卤代烃，氨，醚，酒精，脂肪等)可选用光离子多合一气体探测器。江苏有毒气体气体检测仪安装

仪器好不好，主要看功能是否多，比如数据传输，跌倒报警，寿命到期提示等功能，这类功能提升安全性。广东环境检测气体检测仪以客为尊

传感器在气体检测中检测原理的应用

红外式传感器

红外式传感器利用各种元素对某个特定波长的吸收原理，具有抗中毒性好，反应灵敏，对大多数碳氢化合物都有反应。但结构复杂，成本高。

金属氧化物半导体式传感器

金属氧化物半导体式传感器利用被测气体的吸附作用，改变半导体的电导率，通过电流变化的比较，激发报警电路。由于半导体式传感器测量时受环境影响较大，输出线形不稳定。金属氧化物半导体式传感器，因其反应十分灵敏，故目前使用的领域为测量气体的微漏现象。 广东环境检测气体检测仪以客为尊

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