白光干涉仪是用来测量三维微观形貌的。SuperViewW1白光干涉仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、****、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙，江苏柱面激光干涉仪原理、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓，江苏柱面激光干涉仪原理、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D，江苏柱面激光干涉仪原理、3D参数作为评价标准。可实现90°直角棱镜和角锥测量。江苏柱面激光干涉仪原理

光的干涉：光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加，在某些区域始终加强，在另一些区域则始终削弱，形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件：只有两列光波的频率相同，位相差恒定，振动方向一致的相干光源，才能产生光的稳定干涉。由两个普通**光源发出的光，不可能具有相同的频率，更不可能存在固定的相差，因此，不能产生稳定干涉现象。两列振幅为A1，、A2，频率为f，初始相位分别为∅1和∅2的光在空间叠加时的光强为：若光的振幅相等：相位角相同时，复合光强为原先的2倍，产生明条纹。当相位角相差180º（半个波长）时，复合光强为0，产生暗条纹。江苏柱面激光干涉仪原理应用领域：半导体工业（晶片检测）。

而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器，所不同者，一方面是当可动棱镜不动时，前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平，而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号；另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号，而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号

由于双频激光干涉仪是交流系统，具有优异的系统增益和抗干扰能力，不存在直流漂移，所以从1970年HP公司推出***台基于纵向塞曼效应的双频激光干涉仪后，在相当时期内，这种系统垄断了激光干涉仪市场。外差式激光干涉议的测量速度受到两束光的频差大小限制，根据前述的多普勒效应方程式可得到：Δf≈3.3V。在塞曼效应的激光器中，频差高到一定程度，模牵引效应消失，频差也消失。这也是基于塞曼效应效的双频激光干涉议的测量速度难以提高的原因。一般，横向塞曼效应产生激光频差一般在几百kHz以内，纵向塞曼效应产生的激光频差可以达到3.4〜4MHz。应用领域：高精度精密机械（平面元件检测）。

把一束激光用分光镜分成两路，这两路光是频率相同的，调整两路光的行程差（只是激光波长的一半，很微小），使得这两路光有相位差；它们平行叠加时就产生干涉现象。我们把这种激光设想为正弦波，如下图，当2个频率相同且相差1/4个波长的正弦波叠加时，振幅有的地方变强了（这对应着光的强度变大了，亮些），有的地方变弱了（这对应着光的强度减弱了，暗些）；所以，2个亮条纹中心之间的距离表示该激光的1/2个“波长”；只要在1米长的范围内计算有多少个亮条纹，就可以知道此激光的“波长”是多少，从而知道它的“频率”是多少了。无应力平面检测干涉仪包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块。江苏柱面激光干涉仪原理

球面类光学元表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。江苏柱面激光干涉仪原理

激光干涉仪激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，此误差被称为余弦误差。

死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，从而增大测量误差。 江苏柱面激光干涉仪原理

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