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无锡台式氦质谱检漏仪工作原理 上海妤林真空设备供应

信息介绍 / Information introduction

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理,用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏仪适用于工业、分析研究、镀膜市场等。此款氦质谱检漏仪坚固耐用,无锡台式氦质谱检漏仪工作原理,抗震性能好,无锡台式氦质谱检漏仪工作原理,可反复使用数年仍保证高精度的检漏漏率。紧凑的设计适合串列生产和持续工作。氦质谱检漏仪是根据被检工件的不同它所使用的检漏方法也是不同的。对产品检漏前首先要对工件的结构和制造工业有所了解,了解有哪些漏源,才能快,无锡台式氦质谱检漏仪工作原理,准,狠的完成检漏。了解工件的漏孔问题是选择氦质谱检漏仪的必要条件,然后再了解其他的细节问题,这是关键!以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式可自动检测。无锡台式氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪作为一种测量仪器,需根据设备的使用频率、被测品工艺要求定期使用标准漏孔对设备自身进行校准,以保证设备自身检测精度。氦质谱检漏仪是对比性测试仪器,其工作原理是对进入质谱室的氦气分子电离,轰击靶心产生电离,并放大,通过电流大小的判断氦气分子的多少!进入质谱室氦气分子的比例(分流比),还有电气参数的不同,电流相同,漏率可能不同;或漏率不同,电流相同;所有检漏仪本身并不知道放大后的电流对应的漏率是多少,需要参照物,这个参照物就是标准漏孔。氦质谱检漏仪自身保养小知识:(1)前级真空泵的定期换油及深度保养;(2)电磁阀组的超声清洗;(3)质谱模块组件的超声清洗以及分子泵的定期保养维护。金华台式氦质谱检漏仪技术指导喷氦法、吸氦法是在氦质谱检漏仪中常用的两种方法。

氦质谱检漏仪常见的检漏法:1、负压法检漏,负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口,连续向可疑的漏孔喷射示踪气体,示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。2、正压法检漏,正压法检漏与负压法检漏相反,吸口接在检漏仪的检测口,而被检件充入规定压力的示踪气体,漏孔泄漏出来氦气被吸入检漏仪被检测。大型容器或内部放气管量很大的容器做负压检漏很不经济,而且检漏速度慢,一般采取正压检漏。3、压氦法检漏,压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中,然后连至检漏仪将其抽空,示踪气体通过漏孔泄漏出来,经检漏仪检测总泄漏量。

氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面:1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。5.检漏范围宽:现今生产的检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏。

氦质谱检漏仪可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。5.检漏范围宽:现今生产的检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。在获得氦气信号值的基础上,通过标准的泄漏量比较,可以得到氦气的泄漏量。氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器。氦气喷射法和氦气吸收法是电阻炉氦质谱检漏仪常用的两种检漏方法。氦质谱检漏仪具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度较高,用得比较普遍的检漏仪器。氦质谱检漏仪是以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。金华台式氦质谱检漏仪技术指导

氦质谱检漏仪在充注检漏气体前,试件必须抽空。无锡台式氦质谱检漏仪工作原理

氦质谱检漏仪灵敏度降低怎么维护?影响氦质谱检漏仪灵敏度的因素包括实际检测条件、辅助真空系统以及操作人员的技术等多方面。当发现检漏仪的灵敏度降低,而检漏仪的工作真空度状态良好,放大器的各级工作电压也符合标准要求,就基本上可以确定检漏仪灵敏度降低的问题来源于离子源的质谱分析管受到了严重污染。这个时候,就需要将检漏仪的离子源分析管道拆下来进行彻底的清洗。具体的清洗方法如下:先用细的高标号金相砂纸小心细致地擦洗分析管道的内表面及离子源各电极部件;然后用航空汽油和无水乙醇清洗,并用去离子水冲洗干净;然后用烘箱或电吹风进行干燥。如果操作正确,经过清洗维护后的氦质谱检漏仪的灵敏度可比清洗前提高2~3倍。无锡台式氦质谱检漏仪工作原理

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