激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,江苏通用水平式激光干涉仪产品介绍,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃,江苏通用水平式激光干涉仪产品介绍、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度,江苏通用水平式激光干涉仪产品介绍、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作 可实现90°直角棱镜和角锥测量。江苏通用水平式激光干涉仪产品介绍
计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测,半导体晶圆检测,LED衬底蓝宝石检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。平面类(平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等)光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量,90°直角棱镜和角锥测量;球面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。江苏通用水平式激光干涉仪产品介绍激光干涉仪:数字化动态分析。
声光频移基于Bragg衍射,为保证激光经多个声波波前反射后实现多光束相干,必需保证:dλ>>Λ2,式中d为声光介质厚度,λ为输入激光波长,Λ为声波波长。从式中可见,由于存在声光介质厚度d,声波频率不可能过低,也即由声光频移产生的双频激光的频差不可能过低,一般在几十MHz到几百MHz,这样对系统的硬件速度又提出了更高的要求。采用声光移频技术,可以使激光干涉议的光学系统**简化,如2束光的频差取决于电路中的晶体振荡器,可以直接在电路中得到,与外差式激光干涉议相比,可以省去一套参考信号的接受光路。此外,由于这样的系统不存在激光干涉仪的定臂,难以用一个激光头来实现角度和直线度测量。
基于声光移频的双频激光干涉仪的激光头简图,双纵模稳频的激光器输出激光,由检偏器P抑制一个纵模输出,线偏振的单频激光以Bragg角θ入射到声光频移器,衍射的0级输出保持原频率f1和原方向,1级输出偏转一个(-θ)角,并产生频移,频移后的频率变为f2,此频移(f2-f1)是声光偏转器中的声波频率,也即由晶体振荡器产生的驱动频率。0级光和1级光经过一个双折射棱镜各自按照偏振方向分离,通过一个孔栏A得到了同轴的,具有频差(f2-f1)的,偏振方向相互垂直的双频激光。CCD分辨率:1280*960像素。
光的干涉:光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加,在某些区域始终加强,在另一些区域则始终削弱,形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件:只有两列光波的频率相同,位相差恒定,振动方向一致的相干光源,才能产生光的稳定干涉。由两个普通**光源发出的光,不可能具有相同的频率,更不可能存在固定的相差,因此,不能产生稳定干涉现象。两列振幅为A1,、A2,频率为f,初始相位分别为∅1和∅2的光在空间叠加时的光强为:若光的振幅相等:相位角相同时,复合光强为原先的2倍,产生明条纹。当相位角相差180º(半个波长)时,复合光强为0,产生暗条纹。平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的90°直角棱镜和角锥测量。苏州角锥角度测量激光干涉仪联系方式
激光干涉仪测试项目:球面测量。江苏通用水平式激光干涉仪产品介绍
激光干涉仪小科普:两个透明玻璃条的一端夹着纸片,两块玻璃构成一个劈尖,二个表面间形成一层空气薄膜,然后用单色激光从劈尖上方垂直照射,于是下层玻璃的上表面会反射激光,入射光和反射光就会产生干涉现象。现在来观察条纹形状;若干涉条纹是均匀的、平行等间隔的直条纹,则说明两个玻璃片是平行的;若干涉条纹呈现弯曲,则从条纹变异的情况可以推知待测表面偏离平面的情况;还可以测出夹角,测出纸片厚度。光具有三个重要特性:·激光波长非常稳定,可以满足精密测量的要求。·激光波长非常短,可以用于高精度测量。·激光具有干涉特性。 江苏通用水平式激光干涉仪产品介绍
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