氦质谱检漏仪常见的几种检漏法：1、负压法检漏，负压法检漏是将被检件接到检漏仪的检测口，连续向可疑的漏孔喷射示踪气体，示踪气体通过漏孔进入检漏仪并被检测。一般电子器件的外壳、高压开关管，自动氦气检测设备单位、氧化锌、避雷器等都应采用这种方法检漏。根据产品的不同，自动氦气检测设备单位，需要选择不同尺寸的夹具或辅助工具，自动氦气检测设备单位。2、压氦法检漏，压氦法检漏是将压有一定压力的示踪气体的被检件放入检漏夹具中，然后连至检漏仪将其抽空，示踪气体通过漏孔泄漏出来，经检漏仪检测总泄漏量。一般小型电子器件宜采用这种检漏方法。氦质谱检漏仪的的可检漏率为10-12Pa·m3/s。自动氦气检测设备单位

选择氦质谱检漏仪时主要考虑以下问题：1、仪器的功能能满足检漏的要求。如有些仪器没有逆流检漏功能，就不适合检漏；有些仪器没有报废漏率的设置功能，不宜作为批量产品筛选检漏用；流水线上要求一定的检漏速度，此时应选择有双工位的检漏仪。2、仪器的灵敏度能满足检漏的要求。国内外生产的不同类型的氦质谱检漏仪的灵敏度是不一样的，如果检漏要求的灵敏度较高，就要认真选择。3、被检件如果害怕油的污染，就应选择无油真空系统的检漏仪。4、被检件容积如果较大，必须选用抽泵抽速大的检漏仪，否则就要外加预抽泵。自动氦气检测设备单位氦质谱检漏仪的电流相同，漏率可能不同；或漏率不同，电流相同。

氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。氦质谱检漏仪电源电压220V频率50HZ额定功率2000W。仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。放置好氦质谱检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。氦质谱检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用特定的针对机械泵型号的油。

氦质谱检漏仪性能试验方法：1、反应时间、消除时间及其测定，反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。消除时间是指输出仪表讯号稳定到固定值后，停止送氦，其讯号下降到值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。2、工作真空、极限真空及入口处抽速，质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用氦质谱检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。氦质谱检漏仪被普遍应用于压力容器、航空航天、原子能、发电厂、制冷工业等领域。

氦质谱检漏仪的噪声主要来源于电路噪声和本底噪声，目前设备电子线路和电子元件的改进，使得电路噪声已经降得很低，因此氦质谱检漏仪的本底噪声成为影响设备性能的主要因素。而其本底噪声的产生主要是由于本底峰的不稳定造成的，主要形成的原因包括：一、离子源中的发射电流、加速电压以及分析器的电磁参数不稳定。二、真空油脂、橡胶材料、有机绝缘材料都可吸附和再释放出氦气，而电离规，特别是磁放电真空规对氦有记忆效应，其表面污染时就更为严重。三、抽气系统中抽速不稳定和氦的反扩散。四、氦质谱检漏仪中空气的本底影响。为尽量消除氦质谱检漏仪的本底噪声，需要针对性的采取措施，如减少采用有机材料，不用磁放电规等。氦质谱检漏仪是真空检漏技术中灵敏度较高，用得比较多的检漏仪器。自动氦气检测设备单位

氦质谱检漏仪定期保养该怎么做？自动氦气检测设备单位

氦质谱检漏仪换灯丝步骤：当冷规指针已过1×10-2Pa，按灯丝启动，灯很亮，发射电流无指示，量离子源插头①②足不通，即为灯丝断，灯丝寿命一般正常使用为1至3个月。1、停机换灯丝：可直接取下离子源更换灯丝，装好后按正常开机步骤进行。2、不停机换灯丝：关冷规，关抽速阀，取离子源插头，取下离子源，更换灯丝后装上离子源，插离子源插头，此时“加速电压”示值不应有变化，“发射电流”示值应为零。如其中有一示值与上不符，则是离子源内有短路，应取下排除。将阀开关由“前置”转向“粗抽”(注意：阀开关在“粗抽”的时间不要超过五分钟)，全开节流阀，等真空抽上后，关闭节流阀，将“粗抽”转向“前置”，开抽速阀，开冷规，等真空过1×10-2Pa后可启动灯丝，调氦峰。自动氦气检测设备单位

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