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中型等离子清洗机哪家好 东莞市恒芯半导体设备供应

信息介绍 / Information introduction

使用等离子清洗机进行清洗可以使得用户远离有害溶剂对人体的伤害,同时也避免了湿法清洗中容易洗坏清洗对象的问题;避免使用三氯乙烷等ODS有害溶剂,这样清洗后不会产生有害污染物,因此这种清洗方法属于环保的绿色清洗方法。采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。等离子体的方向性不强,中型等离子清洗机哪家好,中型等离子清洗机哪家好,这使得它可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部完成清洗任务,中型等离子清洗机哪家好,因此不需要过多考虑被清洗物体的形状。而且对这些难清洗部位的清洗效果与氟利昂清洗的效果相似甚至更好。等离子清洗机能较大程度的活化塑料外壳表面。中型等离子清洗机哪家好

等离子清洗机的表面处理技术能够很好的清理碳化物。由于工艺原因,半导体制造需要一些有机和无机物质参与,半导体晶片不可避免地会受到各种杂质的污染。根据污染物的来源和性质,大致可以分为这几类:颗粒、有机物、金属离子和氧化物等。在不破坏晶圆芯片及其他所用材料的表面特性、热学特性和电学特性的前提下,清洗去除晶圆芯片表面的有害沾污杂质物,对半导体器件功能性、可靠性、集成度等显得尤为重要。在密闭的真空腔体中,通过真空泵不断抽气,使得压力值逐渐变小,真空度不断提高,间距被拉大,分子间作用力越来越小,利用等离子发生器产生的高压交变电场将Ar、H2、N2、O2、CF4等工艺气体激发、震荡形成具有高反应活性或高能量的等离子体,进而与有机污染物及微颗粒污染物反应或碰撞形成挥发性物质,由工作气体流及真空泵将这些挥发性物质清理出去,从而达到表面清洁、活化、刻蚀等目的。中型等离子清洗机哪家好等离子清洗机常见的有两种喷头,一种是直喷头,还有一种是旋转喷头。

等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的"活化作用"达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的较大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数髙分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。

关于等离子清洗机的参数调整,恰当的真空度,可使电子运动的平均自由程变大,因而从电场取得的能量就大,有利电离。别的当氧气流量必守时,真空度越高,则氧的相对份额就大,发生的活性粒子浓度也就大。但若真空度过高,活性粒子浓度反而会减小。氧气流量大,活性粒子密度大,去胶速率加速;但流量太大,则离子的复合概率增大,电子运动的平均自由程缩短,电离强度反而降低。若反响室压力不变,流量增大,则被抽出的气体量也添加,其间尚没参与反响的活性粒子抽出量也随之添加, 因而流量添加对去胶速率的影响也就不甚显着。等离子清洗机采用无线电波范围的高频产生的等离子体与激光等直射光线不同。

等离子清洗机利用等离子处理时会发出光辉,故称之为光辉放电处理,等离子体清洗的机理,主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。就反应机理来看,等离子体清洗通常包括以下过程:无机气体被激发为等离子态;气相物质被吸附在固体表面;被吸附基团与固体表面分子反应生成产物分子;产物分子解析形成气相;反应残余物脱离表面。等离子体清洗技术的较大特点是不分处理对象的基材类型,均可进行处理,对金属、半导体、氧化物和大多数分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理,并可实现整体和局部以及复杂结构的清洗。用等离子清洗机处理后的电连接器,其抗拉能力成数倍增加,耐压值有明显提高。信阳小型清洗机

等离子清洗机清洗是利用等离子活性组分的性质处理样品表面的设备。中型等离子清洗机哪家好

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。等离子清洗机的控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。而控制单元又分为两个大的部分:电源部分,主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的,而2.45GHz又称为微波等离子。系统控制单元分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。真空腔体主要是分为两种材质的,不锈钢真空腔体,石英腔体。真空泵分为两种,干泵、油泵。清洗对象经等离子清洗之后是干燥的,不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。可以提高整个工艺流水线的处理效率。中型等离子清洗机哪家好

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