激光干涉仪在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，江苏柱面检测激光干涉仪概念，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，江苏柱面检测激光干涉仪概念，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量，江苏柱面检测激光干涉仪概念。通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能，可以在有空气扰动，轻微振动的环境下检测。江苏柱面检测激光干涉仪概念

无应力平面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是高性能模块化组合检测干涉仪中的一种，它采用国内外**的组合式激光干涉仪作为**部件，主要用于高效检测高精度平面，该产品包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块，主要技术指标已达到国际前列水平，采用更加简便操作的俯式测量，其拥有极高的***测量精度PV和***测量重复性RMS，并突破了一等平面平晶限制，且其采样点可达上百万像素，能客观反映被测平面全貌。不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。此款干涉仪可广泛应用高精度光学元件制造、计量检测、生物医学、航空航天、**、微电子、能源等众多领域，具有广阔的市场前景。江苏斐索型激光干涉仪概念通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。

激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作

激光器输出的纵模间隔为：ΔVL=C/(2nL0)，式中C为光速，n为激光器腔内折射率，L0为激光器的腔长。选择激光器腔长，使其在多普勒带宽之内主要有二个纵模输出，可得到高频差的双频激光，例如选择腔长220mm，可得到频差为680MHz的双频激光。双纵模激光干涉仪采用等强度的稳频方法，由于频差大，原理上可以达到极高的测量速度，但是高频差也使光电接受、信号处理更为困难。激光干涉仪是以波长作为测量基准的，大频差造成的两束光的波长差别是不能忽略的，可以计算，在频差为680MHz时，可以引起的误差。因此必须确认产生多普勒频移的激光波长作为测量的基准。也由于此，双纵模激光干涉仪也难以应用在角度测量，直线度测量这样的利用差动原理的测量项目。LED工业（蓝宝石衬底检测），数据存储和科研院校教学仪器等多种领域。

干涉仪可以分成波前分解和幅度分解两类， 其差异在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。干涉仪的应用极为***，主要有如下几方面：长度测量在双光束干涉仪中，若介质折射率均匀且保持恒定，则干涉条纹的移动是由两相干光几何路程之差发生变化所造成，根据条纹的移动数可进行长度的精确比较或***测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀**涉仪曾被用来以镉红谱线的波长表示国际米。折射率测定两光束的几何路程保持不变，介质折射率变化也可导致光程差的改变，从而引起条纹移动。 一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量， 90°直角棱镜和角锥测量。江苏柱面检测激光干涉仪概念

柱面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量。江苏柱面检测激光干涉仪概念

激光干涉仪原理——应用何处Ⅰ：位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。

数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT)，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性(低速爬行)分析等。

几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。总结：激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种，其中单频激光干涉仪是通过发射激光束，有固定的波长，折返的激光束将光信号转化为脉冲信号，计算折返的脉冲总数，通过计算得知位移距离，等长度的测量。 江苏柱面检测激光干涉仪概念

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