氦质谱检漏仪定期保养该怎么做?1.对氦质谱检漏仪真空系统进行保养时,由于常见氦质谱检漏仪的真空系统部分由分子泵、前级机械泵组成,因此在常规检测时通常由前级机械泵对被检件预抽真空,当真空度达到规定压力后,再进入真空系统部分;被检件在检测前会被要求进行清洁前处理,以防止粉尘、颗粒物等污染物进入真空系统。否则将直接污染真空系统,甚至造成真空泵损坏。因此,对被检件的前处理以及对设备自身的保养清理十分重要,温州客制化氦质谱检漏仪单位。2.除了上述氦质谱检漏仪真空系统需要保养之外,温州客制化氦质谱检漏仪单位,还需要进行前级真空泵的定期换油及深度保养,温州客制化氦质谱检漏仪单位,以及电磁阀组的超声清洗,此外质谱模块组件的超声清洗以及分子泵也建议定期进行保养维护,避免因设备保养不及时导致设备使用寿命缩短。氦质谱检漏仪作为一种测量仪器。温州客制化氦质谱检漏仪单位
氦质谱检漏仪的检漏方式:1、钟罩法——测总漏率,将被检件与仪器检漏口联接抽真空,在被检件外面罩以充满氦气的容器,如被检件有漏孔,氦气便由漏孔进入被检件,达到质谱管被检测。所测漏率是被检件的总漏率,不能确定有几个泄漏点和每个漏点的准确位置。可以看出钟罩法是基于喷吹法的一种检漏方法。2、背压法——测总漏率,进行电子元器件气密性检测时常用背压法。检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。若器件有漏,则通过该漏孔压人的氦气又释放出来进入检漏罐,到达质谱管。用这种方法测得的漏率也是总漏率。温州客制化氦质谱检漏仪单位氦质谱检漏仪适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏。
氦质谱检漏仪主要技术参数:可检漏率:5×10-12Pa·m3/s;漏率显示范围:1×10-3~1×10-12Pa·m3/s;启动时间:≤5min;响应时间:<2S;检漏口压力:300Pa;极限真空:5×10-4Pa;外形尺寸:560(W)×420(D)×300(H);重量:46KG。优势特点:1.采用便携式设计;2.设备外型美观小巧;3.采用液晶触摸屏设计;4.有通讯接口;5.可以方便地将检漏数据输出。使用环境:环境温度:5~35℃;相对湿度:<80%;供电电压:单相交流220V±10%,50Hz;工作电流:10A。
氦质谱检漏仪的选择:首先要考虑到灵敏度必需充分满足要求,选择氦质谱检漏仪时。但也不是越高越好。便携式检漏仪适于检小件,灵敏度也较高,移动方便。由于本机真空系统很小,抽气能力有限,所以检大容器时就不得不靠较大辅助真空系统抽气,由于气体分流、灵敏度将降低。检大容器时,一般选逆扩散型检漏仪,因被检件接在分子泵钱级与机械泵连接管道上,要求真空度不高,而顺检型检漏仪被检件接在质谱室上,要求真空度高,否则仪器不能工作,所以抽气时间要长。如果在流水线上测振仪可选用特定检漏仪或作简单工装使用。若平时被检件什么样的都可能有,可以选用基本型氦质谱检漏仪,以降低成本。禁止任何外来物掉在或洒在氦质谱检漏仪上,尤其是进气口中。
氦质谱检漏仪进展集中体现如下方面:1.智能化:以往的氦质谱检漏仪操作非常辅助,而现在的触屏式,自动检测。2.便捷化:这几年市场上各种小型便捷的检漏仪能够为行业提供小巧而灵敏性高的设备。3.自动化程度高:自动校准氦峰,自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。4.全无油的干式检漏:有些国家生产的检漏仪,可采用干式泵,达到无油蒸气的效果,为无油系统及芯片等半导体器件的检漏,提供了有利条件。5.检漏范围宽:现今生产的检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。只有经过培训或有资格的设备维护工程师,才能使用氦质谱检漏仪。常州妤林氦质谱检漏仪多少钱一台
氦质谱检漏仪是基于质谱法原理,以氦气作为检漏仪器。温州客制化氦质谱检漏仪单位
氦质谱检漏仪检漏前用特定加压容器向被检件压入氦气(由压力和时间控制压入的量),然后取出被检件,吹去表面吸附氦后放入特定检漏罐中,再将检漏罐联接到检漏仪的检漏口上,对检漏罐抽真空,实施检漏。自动调节零点,量程自动转换,自动数据处理,可外接打印机。整机由微机控制,菜单选择功能,一个按钮即可完成一次的全检漏过程。现今生产的氦质谱检漏仪,质量范围很宽,不但可检测氦气,而且能检测其它气体。氦质谱检漏仪的机械泵有足够的机械泵油;保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅;电源线线路没有破损,有良好的接地。温州客制化氦质谱检漏仪单位
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