双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，江苏柱面激光干涉仪，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，江苏柱面激光干涉仪，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，江苏柱面激光干涉仪，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。激光干涉仪测试项目：球面测量。江苏柱面激光干涉仪

激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理：(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。江苏柱面激光干涉仪无应力平面检测干涉仪是一款具有在振动环境下测试能力和共光路特点的费索型激光干涉仪。

激光干涉仪是以干涉测量法为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（俯仰扭摆角度、直线度、垂直度等）进行精密测量的精密测量仪器。激光具有三个重要的特性：①波长稳定②波长短③具有干涉性。光的相长干涉和相消干涉：一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。从激光头射出的激光光束①具有单一频率，标称波长为633nm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光——反射光束②和透射光束③。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束④。如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。

当可动反射镜移动时，含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率，正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减，输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算(乘1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。应用领域：计量领域（平面平晶检测）。

激光干涉技术在超精密加工制造，精密定位控制和基础科学测量等领域具有重要价值。目前国际上测量精度比较高的干涉仪就是用于引力波探测的激光干涉仪。叶贤基教授围绕空间引力波探测技术，详细介绍了高精度星间激光干涉测量的基本原理、关键技术及其发展现状。星间激光干涉测量是一种长基线高精度的位移测量方法，当星间距达到十万公里之百万公里时就要求在接收光功率为皮瓦至纳瓦级弱光条件下，实现皮米级位移测量精度。为了实现高精度星间干涉测量，需要发展一系列关键技术，包括星载激光稳频技术、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光光束指向控制技术。平面类（平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等）光滑表面面形测量。江苏柱面激光干涉仪

可实现90°直角棱镜和角锥测量。江苏柱面激光干涉仪

自十九世纪以来，干涉测量技术一直是精密测量领域中的重要技术之一，在精密工业生产加工以及基础科学测量有着广泛应用。近几十年来，随着空间科学应用的发展需求，例如空间引力波探测，高精度星间激光测干涉测量技术得到***重视。高精度星间激光测距是利用两颗卫星之间的两束或者多束激光进行干涉，通过读取干涉信号的相位信息得到星间距离变化信息。基于高精度星载激光稳频、精密相位测量以及弱光锁相技术、星间激光指向控制等技术，可实现皮米级星间位移测量，对空间科学与技术、基础物理实验等研究领域具有重要价值与应用江苏柱面激光干涉仪

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