洁净室温湿度控制 东莞洁净室改造 大朗无尘洁净室工程 卓为供

洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。

    具体工艺对洁净室温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。

      湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以去除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产相当佳温度范围为35—45%。

东莞市卓为空调机电设有限公司一直坚持以打造人与环境和谐共生，可持续发展的优良无尘车间工程为目标，从净化项目的设计到项目施工，都秉持着尽善尽美，精益求精，使项目在符合客户的要求上，更在降低项目后期使用成本，提高使用效率上追求更加科学化、完善化，以期为客户带来大的效益，为我们美丽的自然环境而降低能耗。

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