而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器，所不同者，一方面是当可动棱镜不动时，前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平，而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号；另一方面，当可动棱镜移动时，前者的干涉信号是在**亮和**暗之间缓慢变化的信号，而后者的干涉信号是使原有的交流信号频率增加或减少了△f，结果依然是一个交流信号。因而对于双频激光干涉仪来说，江苏棱镜激光干涉仪性能，江苏棱镜激光干涉仪性能，江苏棱镜激光干涉仪性能，可用放大倍数较大的交流放大器对干涉信号进行放大，这样，即使光强衰减90%，依然可以得到合适的电信号激光干涉仪：数字化相移分析。江苏棱镜激光干涉仪性能

激光干涉仪小科普：两个透明玻璃条的一端夹着纸片，两块玻璃构成一个劈尖，二个表面间形成一层空气薄膜，然后用单色激光从劈尖上方垂直照射，于是下层玻璃的上表面会反射激光，入射光和反射光就会产生干涉现象。现在来观察条纹形状；若干涉条纹是均匀的、平行等间隔的直条纹，则说明两个玻璃片是平行的；若干涉条纹呈现弯曲，则从条纹变异的情况可以推知待测表面偏离平面的情况；还可以测出夹角，测出纸片厚度。光具有三个重要特性：·激光波长非常稳定，可以满足精密测量的要求。·激光波长非常短，可以用于高精度测量。·激光具有干涉特性。 江苏非球面激光干涉仪应用范围激光干涉仪有： 无应力平面检测干涉仪， 无应力平面检测干涉仪，现场高效球面检测干涉仪。

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等

激光干涉仪原理——应用何处Ⅰ：位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。

数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT)，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性(低速爬行)分析等。

几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。总结：激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种，其中单频激光干涉仪是通过发射激光束，有固定的波长，折返的激光束将光信号转化为脉冲信号，计算折返的脉冲总数，通过计算得知位移距离，等长度的测量。 计量检测，光学镜片检测、光学组件检测，手机背板和相机镜头检测。

声光频移基于Bragg衍射，为保证激光经多个声波波前反射后实现多光束相干，必需保证:dλ>>Λ2，式中d为声光介质厚度，λ为输入激光波长，Λ为声波波长。从式中可见，由于存在声光介质厚度d，声波频率不可能过低，也即由声光频移产生的双频激光的频差不可能过低，一般在几十MHz到几百MHz，这样对系统的硬件速度又提出了更高的要求。采用声光移频技术，可以使激光干涉议的光学系统**简化，如2束光的频差取决于电路中的晶体振荡器，可以直接在电路中得到，与外差式激光干涉议相比，可以省去一套参考信号的接受光路。此外，由于这样的系统不存在激光干涉仪的定臂，难以用一个激光头来实现角度和直线度测量。应用领域：光学加工（窗口玻璃检测）。江苏棱镜激光干涉仪性能

可实现90°直角棱镜和角锥测量。江苏棱镜激光干涉仪性能

单频激光干涉仪的工作原理：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式

双频激光干涉仪的工作原理：在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应，激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光，再经分光镜分为两路：一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为*含有f1的光束，另一路成为*含有f2的光束。 江苏棱镜激光干涉仪性能

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