411型号加速度传感器基于较新的压阻MEMS传感技

术元件加工，提供出色的动态范围和稳定性。这种压阻

加速度传感器是为冲击测量而设计的坚固型无阻尼测

量装置。内置蚀刻硅芯片布置了包含惯性质量块和应

变计的主动四臂惠斯通桥电路。该元件的质量轻、极小

的尺寸和独特的结构可以提供高共振频率，同时具有

低阻抗、高过载、低相移和零阻尼等特性。该类型传感

器的高谐振频率特点使得它们在高冲击脉冲后的高频

信号下不会共振损坏，相反具有较低谐振频率的加速

度传感器就可能会遭到破坏。高谐振频率和零阻尼也

允许加速度传感器响应快速信号、短持续时间的激波

运动。同时该传感器频率响应可以向下扩展到静态或

低频加速度，因此该传感器也是测量长时间变化信号

的理想选择。411型采用了坚固可靠的结构，较大降低

了电缆接线和冲击损坏的概率。

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