为了获得所需的粘合性或印刷性，在等离子清洗机中使用正确的气体是很重要的。在使用等离子清洗机中，我们都知道，去胶气体为氧气。把需要清洗的晶片放入真空等离子去胶机反应系统中，株洲等离子表面清洗机，受高频及微波能量效果，电离发生氧离子、游离态氧原子，株洲等离子表面清洗机，株洲等离子表面清洗机、氧分子和电子等混合的等离子体形成辉光柱。具有强氧化才能的游离态氧原子在高频电压效果下与光刻胶膜反应，较终完成。等离子清洗机的使用优势在于它使用操作相对简单，去胶率更高，表面也比较干净光洁无划痕，成本低，环保。等离子清洗机内部：在填充之前创建阻隔层并对食品包装进行消毒。株洲等离子表面清洗机

等离子清洗机又叫电浆清洗机，主要是通过等离子体作用于基材表面使其产生一系列的物理、化学作用，利用其中所包含的活性粒子和高能射线，与表面有机污染物分子碰撞发生物理、化学反应形成小分子挥发性物质，使其从表面移除，实现清洁效果。使用原理：在真空腔体里，通过电源在一定的基础压力之下，通入工作气体后，起辉产生高能无序的等离子体，通过等体子体轰击基材表面，形成活性官能团，从而使其起到表面活化，再由抽气系统将残留的小分子挥发物抽离腔体。株洲等离子表面清洗机等离子清洗机能较大程度的活化塑料外壳表面。

氩气AR2：氩气是一种惰性气体，电离后产生的离子体不会与基材发生化学反应，在等离子清洗机清洗中主要被应用于基材表面的物理清洗及表面粗化，较大的特点就是在表面清洗中不会造成精密电子器件的表面氧化。正因如此，氩气在等离子清洗机清洗使用中被普遍应用于半导体、微电子、LED制程，线路板制造等。氩氢混合气：氩氢混合气是由95%氩气加5%氢气(为防爆一般不建议氢气浓度大于10%)混合而成，是在原有物理反应的基础中加入H-，加入化学还原反应，可以有效去除基材表面的有机污染物，同时可以清洗基材表面的部分轻微氧化层。同样被普遍应用于半导体、微电子、LED制程、线路板制造等。

等离子清洗机设备的保养：定期检查真空泵油：每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近较低红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊（油颜色变灰褐色或者油位视窗模糊不清）、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。清洗反应腔室：首先脱脂棉布沾无水乙醇（俗称酒精）擦拭（不要用乙醇擦拭反应腔体观察玻璃）真空腔体。其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体去除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。检查输气管道的完整性及真空密封性，定期检查真空系统的完整性，这种检查应该在彻底的清洗反应室之后，以避免污染物遗漏在腔体中。定期检查反应腔体门密封条是不是松动。检查各管路是否连接紧固，老化等问题。等离子清洗机优势：清洗对象经等离子清洗机之后是干燥的，不需要再经干燥处理即可送往下一道工序。

等离子清洗机的作用原理，主要是通过等离子体作用于材料表面使其产生一系列的物理、化学变化，利用其中所包含的活性粒子和高能射线，与表面有机污染物分子发生反应、碰撞形成小分子挥发性物质，从表面移除，实现清洁效果。在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等体子体轰被清洗产品面以达到清洗目的。水滴测试仪是目前等离子清洗效果评估较为常见、业界较为认可的检测方法。测试数据准确、操作简捷、重复性和稳定性高。利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。株洲等离子表面清洗机

使用等离子清洗机中的等离子体轰击需粘接的PTFE表面后，其表面活性会得到明显增强。株洲等离子表面清洗机

等离子清洗机以物理反应为主的等离子体清洗，也叫做溅射腐蚀（SPE）或离子铣（IM），其优点在于本身不发生化学反应，清洁表面不会留下任何的氧化物，可以保持被清洗物的化学纯净性，腐蚀作用各向异性；以化学反应为主的等离子体清洗的优点是清洗速度较高、选择性好、对去除有机污染物比较有效，是会在表面产生氧化物。和物理反应相比较，化学反应不易克服。并且两种反应机制对表面微观形貌造成的影响有明显不同，物理反应能够使表面在分子级范围内变得更加“粗糙”，从而改变表面的粘接特性。株洲等离子表面清洗机

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